[发明专利]基板顶针座的监测方法及监测装置

说明书

本发明公开了一种基板顶针座的监测方法，包括如下步骤：在基板顶针座的顶针头上设置反射面；对基板顶针座设置至少一光源以及接收器；在基板顶针座之间建立反射路线，将光源投射至该反射路线中的其中一基板顶针座的顶针头上的反射面，使光在每个反射面之间进行反射并最终反射至接收器。本发明还提供了一种基板顶针座的监测装置，所述监测装置包括承载台、阵列排布在承载台上的用于承托基板的基板顶针座以及至少一组光投射接收装置。与现有技术相比，实现对基板顶针座实时监测，避免因基板顶针座发生形变而导致破片的问题。

技术领域

本发明涉及一种显示面板生产技术，特别是一种基板顶针座的监测方法及监测装置。

背景技术

对于液晶面板、半导体等行业而言，破片都是需要特别关心的事项。在曝光设备中，烘烤机台内基板顶针座可能会出现弯曲或者高度发生变化导致破片的问题，但是工程师并不能实时监测到基板顶针座的状态，只能在月保或季保等时刻检查基板顶针座状态，使得生产过程面临由基板顶针座导致破片的风险。并且随着液晶面板行业基板尺寸越来越大，设备的尺寸也随之增大，这使得工程师监控基板顶针座的状态的工作越加困难，如何能够对基板顶针座进行监测，是目前行业中急需解决的一个问题。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明提供一种基板顶针座的监测方法及监测装置，从而能够实时对基板顶针座进行监控。

本发明提供了一种基板顶针座的监测方法，包括如下步骤：

在基板顶针座的顶针头上设置反射面；

对基板顶针座设置至少一光源以及接收器；

在基板顶针座之间建立反射路线，将光源投射至该反射路线中的其中一基板顶针座的顶针头上的反射面，使光在每个反射面之间进行反射并最终反射至接收器，从而判断基板顶针座是否有形变。

进一步第，判断基板顶针座是否形变包括判断接收到的反射光的参数与设定值是否相同或是否接收到反射光，当反射光的参数与设定值不相同或没有接收到反射光时，认定为基板顶针座有形变。

进一步地，所述认定为基板顶针座有形变时还进行报警。

进一步地，所述反射光的参数包括光线强度。

本发明还提供了一种基板顶针座的监测装置，所述监测装置包括承载台、阵列排布在承载台上的用于承托基板的基板顶针座以及至少一组光投射接收装置；

所述基板顶针座的顶针头的周壁上设有反射面；

所述光投射接收装置包括用于向其中一个基板顶针座投射光的光源以及用于接收经反射面反射的反射光的接收器，所述光投射接收器的光源所发出的光投向其中一个基板顶针座的反射面，并在基板顶针座的反射面之间进行反射，最终反射至接收器。

进一步地，所述接收器还用于判断接收到的反射光的参数与设定值是否相同或是否接收到反射光。

进一步地，所述监测装置还包括报警装置，所述报警装置用于当接收器接收到的反射光的参数于设定值不相同或没有接收到反射光时发出报警。

进一步地，每组光投射接收装置对应基板顶针座中高度相同的基板顶针座。

进一步地，所述每组光头折接收装置中光源的投射方向分别与相同高度的基板顶针座中的其中一个基板顶针座的反射面相对，每组光投射接收装置中接收器位于该相同高度的基板顶针座中与最后接受反射光的反射面相对。

进一步地，所述反射光的参数包括光线强度。

本发明与现有技术相比，通过在基板顶针座的顶针头上设置反射面，通过光源投射至反射面并对反射光进行接收，从而判断基板顶针座是否发生形变(形态变化)，实现对基板顶针座实时监测，避免因基板顶针座发生形变而导致破片的问题。

附图说明