[发明专利]基板顶针座的监测方法及监测装置

权利要求书

1.一种基板顶针座的监测方法，其特征在于：包括如下步骤：

在基板顶针座(2)的顶针头上设置反射面(21)；

对基板顶针座(2)设置至少一光源(31)以及接收器(32)；

在基板顶针座(2)之间建立反射路线，将光源(31)投射至反射路线中其中一基板顶针座(2)的顶针头上的反射面(21)，使光在每个基板顶针座(2)的顶针头上的反射面(21)之间进行反射并最终反射至接收器(32)，从而判断基板顶针座是否有形变。

2.根据权利要求1所述的基板顶针座的监测方法，其特征在于：判断基板顶针座(2)是否形变包括判断接收到的反射光的参数与设定值是否相同或是否接收到反射光，当反射光的参数与设定值不相同或没有接收到反射光时，认定为基板顶针座有形变。

3.根据权利要求2所述的基板顶针座的监测方法，其特征在于：所述认定为基板顶针座(2)有形变时还进行报警。

4.根据权利要求2所述的基板顶针座的监测方法，其特征在于：所述反射光的参数包括光线强度。

5.一种基板顶针座的监测装置，其特征在于：所述监测装置包括承载台(1)、阵列排布在承载台(1)上的用于承托基板的基板顶针座(2)以及至少一组光投射接收装置(3)；

所述基板顶针座(2)的顶针头的周壁上设有反射面(21)；

所述光投射接收装置(3)包括用于向其中一个基板顶针座(2)投射光的光源(31)以及用于接收经反射面(21)反射的反射光的接收器(32)，所述光源(31)所发出的光投向其中一个基板顶针座(2)的反射面(21)，并在每个基板顶针座(2)的顶针头上的反射面(21)之间进行反射，最终反射至接收器(32)。

6.根据权利要求5所述的基板顶针座的监测装置，其特征在于：所述接收器(32)还用于判断接收到的反射光的参数与设定值是否相同或是否接收到反射光。

7.根据权利要求6所述的基板顶针座的监测装置，其特征在于：所述监测装置还包括报警装置(4)，所述报警装置(4)用于当接收器(32)接收到的反射光的参数于设定值不相同或没有接收到反射光时发出报警。

8.根据权利要求5-7任意一项所述的基板顶针座的监测装置，其特征在于：每组光投射接收装置(3)对应基板顶针座(2)中高度相同的基板顶针座(2)。

9.根据权利要求8所述的基板顶针座的监测装置，其特征在于：所述每组光头折接收装置(3)中光源(31)的投射方向分别与相同高度的基板顶针座(2)中的其中一个基板顶针座(2)的反射面(21)相对，每组光投射接收装置(3)中接收器(32)位于该相同高度的基板顶针座(2)中与最后接受反射光的反射面(21)相对。

10.根据权利要求6所述的基板顶针座的监测装置，其特征在于：所述反射光的参数包括光线强度。