[发明专利]真空干燥装置

说明书

本发明涉及一种真空干燥装置，其包括干燥室和抽气管路，干燥室具有干燥腔，抽气管路的两端分别用于连接第一抽气装置和第二抽气装置以使各干燥室的干燥腔内均能够形成负压，抽气管路上设有多个阀门。使用该真空干燥装置对多个待干燥样品进行干燥时，通过调控第一抽气装置、第二抽气装置以及各阀门的打开与关闭，整体上能够调整至仅通过第一抽气装置或第二抽气装置即可实现对置于不同干燥室内的待干燥样品连续干燥。与现有的真空干燥箱相比，上述真空干燥装置整体上可显著提高真空干燥的效率，显著降低能耗，显著提高生产效率并降低生产成本。

技术领域

本发明涉及干燥设备领域，特别是涉及一种真空干燥装置。

背景技术

有机电致发光器件是一种自发光器件，具有电压低、视角宽、响应速度快、温度适应性好等优势，属于新一代的显示技术。有机电致发光器件由于制造过程复杂，生产成本始终偏高，导致大尺寸有机电致发光器件显示屏在成本上一直无法与液晶显示器竞争。现在打印技术和印刷技术被科学界公认为降低大尺寸有机电致发光器件显示屏生产成本的最佳途径，所以工业界纷纷研究大尺寸有机电致发光器件的打印及印刷的工艺技术。采用喷墨打印或印刷等方法制作有机电致发光器件过程中，需要对有机发光器件中的薄膜层进行干燥以去除溶剂，以防止残留的溶剂对显示屏的寿命造成不良影响。

传统普遍采用真空干燥箱对有机电致发光器件中的薄膜层进行干燥，但该干燥方式的能耗较大，效率偏低。

发明内容

基于此，有必要提供一种能耗较小且效率较高的真空干燥装置。

一种真空干燥装置，包括：

干燥室，所述干燥室具有用于放置待干燥样品的干燥腔，所述干燥室有多个；及

抽气管路，所述抽气管路的一端用于与第一抽气装置连接，所述抽气管路的另一端用于与第二抽气装置连接，所述抽气管路分别与多个所述干燥室连接以使多个所述干燥腔内均能够形成负压，所述抽气管路上设有多个阀门以用于配合所述第一抽气装置和所述第二抽气装置调控各所述干燥腔内的气压，以对多个所述干燥腔内的待干燥样品依次进行连续干燥。

在其中一个实施例中，所述抽气管路在靠近其两端的位置以及在相邻两个所述干燥室之间的管段上均设有阀门。

在其中一个实施例中，所述干燥室有3～10个，3～10个所述干燥室并列设置；相应地，所述抽气管路上的阀门共设有4～11个。

在其中一个实施例中，所述抽气管路至少一端的端部设有气压测量装置。

在其中一个实施例中，所述气压测量装置为压力传感器。

在其中一个实施例中，所述真空干燥装置还包括补气系统；

所述补气系统包括用于净化气体的气体净化组件和与所述气体净化组件连接的进气管；

所述进气管分别与多个所述干燥室连接以用于向每个所述干燥腔内补充气体。

在其中一个实施例中，所述干燥腔内设有用于对所述待干燥样品加热的加热组件。

在其中一个实施例中，所述加热组件包括用于向所述待干燥样品传热的导热板和与所述导热板连接的加热器。

在其中一个实施例中，每个所述干燥室均设有进气口。

在其中一个实施例中，每个所述干燥室均设有箱门。