[发明专利]过滤膜组件及其制造方法、以及过滤膜组件的设置方法

说明书

本发明的目的在于提供保持过滤膜的过滤性能、抑制微生物的繁殖、并且不会对使用开始后的水质造成影响的过滤膜组件及其制造方法。为此，本发明涉及一种中空纤维膜组件1，其具备用于液体的过滤的中空纤维膜3a、和容纳该中空纤维膜3a的壳体5，其中，在壳体5内，作为用于保持中空纤维膜3a的过滤性能的保存液而填充有经过了杀菌的纯水。

技术领域

本发明涉及在超纯水制造工艺中作为除去被处理水中的微粒的终滤器而适宜的过滤膜组件及其制造方法、以及过滤膜组件的设置方法。

背景技术

在制造在半导体、显示元件等电子/电气部件的制造中使用的超纯水的生产线中，作为在即将向使用点供给利用微滤膜、离子交换树脂、反渗透过滤膜制造的超纯水之前从超纯水中除去微粒的终滤器，使用了过滤膜组件。作为该用途的过滤膜组件，由于具有可增大每1个组件的过滤流量的优点，因此，主要使用的是将原水供给至中空纤维膜的外侧而进行过滤的外压过滤式的中空纤维膜组件。

作为对该用途的过滤膜组件所追求的性质，要求在开始使用后的短时间内使作为超纯水的水质，即过滤水中的微粒数、过滤水的导电率及TOC(总有机碳)等达到要求水平。因此，通常在该用途的过滤膜组件中，在制品的制造工序的最后设定用于减少来自过滤器的微粒生尘、离子成分及有机物的溶出的洗涤工序，从而以洗涤至达到清洁状态为止的状态投入市场。

另一方面，对于过滤膜组件，为了保持其过滤性能、并抑制制品内的微生物的繁殖，需要在制造后使用具有杀菌、抑菌作用的保存液，以湿润状态进行保管，在常规的膜组件中，可使用甘油水溶液、醇水溶液、或次氯酸钠水溶液等作为保存液(例如参见专利文献1)。但是，在超纯水的生产线中使用的过滤膜组件存在以下问题：在为了如上所述地追求自使用开始后的短时间内满足作为超纯水的水质而使用包含甘油、醇等有机物、钠等金属离子成分的保存液时，该洗涤需要时间。因此，作为该用途的保存液，已使用的是即使在低浓度下也会抑制微生物的繁殖的甲醛水溶液、不会残留有机物、离子成分而具有杀菌效果的过氧化氢水溶液。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平6-296838号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在使用甲醛水溶液的情况下，虽然可以以低于1％的低浓度抑制微生物的繁殖，但会对TOC的减少造成影响。另一方面，过氧化氢水溶液虽然会抑制微生物的繁殖、并且也不会对TOC造成影响，但由于过氧化氢的氧化能力较强，因此存在导致通常被用作该用途的过滤膜的材料的高分子膜一点一点地发生劣化，发生膜的分离性能的降低、破损等的可能性。

本发明的目的在于解决以上课题，目的在于提供保持过滤膜的过滤性能、抑制微生物的繁殖、并且不会对使用开始后的水质造成影响的过滤膜组件及其制造方法、以及过滤膜组件的设置方法。

解决问题的方法

本发明人为了满足上述多项要求而进行了深入研究，进行了查证。结果确认到，通过作为保存液而封入经过了高温下杀菌的状态的水，可满足全部的要求事项，并发现了其制造方法，从而想到了本发明。

即，本发明的过滤膜组件是具备用于液体的过滤的过滤膜、和容纳该过滤膜的壳体的过滤膜组件，其中，在壳体内，作为用于保持过滤膜的过滤性能的保存液而填充有经过了杀菌的纯水。

另外，在上述本发明的过滤膜组件中，保存液中的有机物含量优选以TOC(总有机碳)计为5ppm以上且低于50ppm。

另外，在上述本发明的过滤膜组件中，保存液中包含的金属离子的浓度优选为10ppb以上且低于100ppb。

另外，在上述本发明的过滤膜组件中，保存液中包含的氯化物离子的浓度优选为25ppb以上且低于250ppb。