[发明专利]一种焰熔法数控晶体生长炉

权利要求书

1.一种焰熔法数控晶体生长炉,其特征在于，该生长炉包括:

晶体生长系统，包括晶体生长炉、穿入晶体生长炉内，用于作为晶体生长的载体的晶体生长基座杆，通过电机带动传动丝杠传递至晶体晶体生长基座杆做上下运动的升降速度控制机构；

原料供应系统，包括锥形原料仓，在所述原料仓内设置筛网，所述原料仓的进料口安装有筛网振动机构；

燃料供应系统，通过管线连接至生长室；

数字控制系统，向升降速度控制机构、筛网振动振幅控制机构、筛网振动频率控制机构以及进气系统发出控制信号，并用于设置控制参数。

2.按照权利要求1所述的焰熔法数控晶体生长炉，其特征在于，所述燃料供应系统包括燃料气体源、与燃料气体管线、浮子气体流量计、数字气体流量计、燃料气体控制机构；燃料气体源通过燃料气体管线连接至晶体生长炉，在燃料气体管线上设置浮子气体流量计用于检测管路气体情况，设置数字气体流量计用于精确控制气体的流量，燃料气体控制机构通过串入燃料气体管线的除湿、干燥、净化设备，向数字气体流量计提供满足工艺要求的清洁气体。

3.按照权利要求1所述的焰熔法数控晶体生长炉，其特征在于，原料供应系统包括：

筛网振动振幅控制机构，控制筛网振动机构对筛网的振动振幅的调节；

筛网振动频率控制机构，控制筛网振动机构对筛网的振动频率的调节。

4.按照权利要求3所述的焰熔法数控晶体生长炉，其特征在于，所述筛网振动振幅控制机构包括与晶体生长基座杆平行的内空支撑柱I，在所述支撑柱I内设置有连接杆，所述连接杆通过电机带动连接杆的升降，所述连接杆的端部连接一横杆，所述横杆的一端连接筛网振动机构。

5.按照权利要求4所述的焰熔法数控晶体生长炉，其特征在于，所述筛网振动频率控制机构通过电机输出横轴，在横轴上至少一片压杆，横轴带动压杆转动，所述压杆与所述横杆接触。

6.按照权利要求5所述的焰熔法数控晶体生长炉，其特征在于，所述所述筛网振动频率控制机构的电机固定在与支撑柱I平行的支撑柱II上。

7.按照权利要求4所述的焰熔法数控晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉以及原料供应系统固定在支撑柱I的外围。

8.按照权利要求4所述的焰熔法数控晶体生长炉，其特征在于，所述数字控制系统通过筛网振动振幅控制机构以及筛网振动频率控制机构控制筛网的振幅和频率达到进料的控制。