[发明专利]电子部件输送装置及电子部件检查装置

说明书

本发明提供一种电子部件输送装置及电子部件检查装置，能够准确且高效地进行电子部件的检查。电子部件输送装置(10)具备：检查区域(A3)，配置有检查部(16)，检查部(16)能够进行以第一温度检查电子部件(90)的第一检查和在第一检查后以不同于第一温度的第二温度检查电子部件(90)的第二检查；第一载置区域(A1)，能够配置第一载置部(200)，第一载置部(200)载置第一检查前的电子部件(90)；以及第二载置区域(A5)，位于与第一载置区域(A1)不同的位置，并能够配置第二载置部(200)，第二载置部(200)载置第二检查前的电子部件(90)。

技术领域

本发明涉及电子部件输送装置及电子部件检查装置。

背景技术

一直以来，已知检查例如IC器件等的电子部件的电特性的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置中安装有用于输送IC器件的电子部件输送装置(例如，参见专利文献1)。

另外，在电子部件检查装置中，通过将多个IC器件载置在托盘上，并将每个托盘放入装置内，从而托盘由输送部输送至进行检查的检查部。然后，当检查结束时，IC器件被载置在托盘上，每个托盘由输送部输送，并被排出到装置外。需要说明的是，在专利文献1记载的电子部件输送装置中，当检查结束时，能够直接进行重新测试(重新检查)。

另外，在检查电子部件的电特性的部件检查装置中，一般使用在基台上的托盘和检查用托座之间、输送检查前、检查后的电子部件的处理装置。在这样的部件检查装置中，有的先将电子部件设为0℃以下的低温，继而检查该电子部件的电特性。

在这里，已知将电子部件冷却至低温的处理装置(例如，参见专利文献2)。在专利文献2记载的处理装置中，由容纳多个电子部件的托盘和载置该托盘的壳体构成支承电子部件的支承部。另外，通过利用冷冻机冷却作为制冷剂的处于干燥状态的干燥空气，并将该冷却的干燥空气供应到形成于壳体内部的冷却通道内，从而通过壳体冷却托盘，并通过该托盘冷却电子部件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-258507号公报

专利文献2：日本特开2004-347329号公报

但是，在专利文献1记载的电子部件输送装置中，当电子部件的检查结束而以不同的温度进行再次检查时，操作员需要将电子部件输送到不同的电子部件输送装置上。这时，可能会因操作员而发生输送失误。另外，因操作员输送电子部件的时间，检查效率降低。

另外，如专利文献2记载的处理装置那样，在将电子部件冷却至低温的处理装置中，通常在干燥空气通过的冷却通道的中途配置切换干燥空气的通过和切断的切换阀。然而，关于对该切换阀的状态(例如是否正常运作，或者是否因故障而停止运作)的判断，专利文献2既没有任何公开，也未给出任何启示。

发明内容

本发明为了解决上述技术问题的至少一部分而完成，可作为以下方式或应用例而实现。

根据本发明的电子部件输送装置，其特征在于，具备：检查区域，能够配置检查部，所述检查部能够进行以第一温度检查电子部件的第一检查和在所述第一检查后以不同于所述第一温度的第二温度检查所述电子部件的第二检查；第一载置区域，能够配置第一载置部，所述第一载置部能够载置所述第一检查前的所述电子部件；以及第二载置区域，位于与所述第一载置区域不同的区域，并能够配置第二载置部，所述第二载置部能够载置所述第二检查前的所述电子部件。

由此，在对载置于第一载置区域的第一载置部上的电子部件进行了第一检查后，能够对载置于第二载置区域的第二载置部上的电子部件进行第二检查。即、能够利用一个电子部件输送装置进行温度相互不同的第一检查和第二检查。其结果，操作员在第一检查后可以省略将电子部件输送到第二检查专用的电子部件输送装置上的作业。从而能够防止操作员引起的失误，并且能够迅速进行第一检查和第二检查。