[发明专利]具有抽真空的双膜片和真空监控装置的隔膜密封组件

说明书

本发明涉及一种压力测量组件，其具有测量仪器，其中压力从要监控的过程侧经由两个膜片和设置在其间的被抽真空的中间空间的布置结构可靠地与过程侧分开地传递到测量仪器，并且其中改进了在极端使用条件下压力测量组件的耐久性。

技术领域

本发明涉及一种压力测量装置或一种用于压力测量装置的隔膜密封组件(Druckmittleraufbau)，其具有压力测量元件，所述压力测量元件例如由管譬如波登管或传感器膜片组成。压力传递在此情况下从要监控的过程介质或过程流体的一侧经由隔膜密封件(Membrandruckmittler)进行，该隔膜密封件将过程介质与压力测量元件路径保持分开，由此已可以改善压力测量仪器的耐久性。尤其是，当压力测量元件出于特定的原因不应直接与要监控的介质接触时，隔膜密封件因此主要用于过程压力即过程介质的要测量的压力传递到压力测量装置上，该压力测量装置例如包含如开始所介绍的压力测量元件。这例如在如下情况下会如此：要监控的介质是侵蚀性介质例如起腐蚀作用的介质，并且在与压力测量元件直接接触的情况下会侵蚀压力测量元件，或要监控的介质易于接近或者聚合并且由此堵塞至压力测量元件的连接管路，另一方面尤其在食品工业中避免测量线中的死体积，在所述死体积中会集聚易变质的残留物，死体积同样利用膜片封闭，以便仅列举少量几个实例。压力测量装置通常是用于测量和显示要监控的介质的压力通常超压的测量装置，其中压力测量元件也可以是压力测量变送器、压力开关、压力记录器或者差动压力测量部件等等。

背景技术

现在为了提出用于改进这种压力测量装置在极端或恶劣使用条件下的持续使用的解决方案，目前使用压力测量仪器，其中过程压力经由分离膜片被传递到用油填充的测量组件压力路径，该测量组件压力路径具有传感器装置和压力分析装置。然而在此情况下，在潜在出现的极端条件下膜片强烈交变弯曲的情况下膜片会出现不期望的损伤，例如膜片中的裂纹等。为了应对该问题，近年来曾提出过呈多件式膜片装置形式的隔膜密封件，其例如可以包括所谓的前置膜片和至少一个另外的膜片，它们于是例如双壁地或多壁地构成，其中在该膜片装置的膜片之间的中间空间可以被抽真空。通常，只有当要监控的过程介质处于正压力下即超压时，测量仪器才可以起反应。通过监控在中间空间中存在的真空在此情况下可以测定，多件式膜片装置的膜片是否还完好，或由于多件式膜片中的一个或多个膜片因超压而损伤在膜片装置中是否存在泄漏。

作为现有技术的用于具有多件式膜片装置的压力测量装置的密封隔膜(Druckmittler)的实例，专利文献DE 199 49 831 B4公开了隔膜密封件，其具有平面的膜片装置或膜片单元，膜片单元由第一波形的膜片和第二波形的模片构成，其中在两个膜片之间构成中间空间。膜片单元在此是在要监控的过程介质与传动流体之间的分离部，该分离部将过程压力尽可能径直传递给压力测量装置的压力测量感测器。在已知的压力测量装置中，在两个波形的膜片之间的中间空间被抽真空并且中间空间的抽真空状态被监控，以便可以注意膜片的裂纹或断裂并且由此可以注意隔膜密封件的损伤，使得可以防止要监控的介质穿透至压力测量元件(泄漏)。在抽真空中间空间之前，在密封隔膜中主要的是，中间空间的宽度即两个膜片彼此间的间距趋向零。该装置用作在抽真空之前的预备的措施，以便在抽真空之前已经实现尽可能近的布置，并且最后具有目的，将这两个膜片在抽真空的状态中引入尽可能完全的且整面贴靠的布置。然而在现有技术的密封隔膜中已证明有问题的是，在抽真空之前两个膜片的已经彼此贴靠的内侧在抽真空之前尽管如所期望地彼此吸合或者彼此远离。但，通过膜片的预备的靠近布置例如会在波形膜片的肋部中夹杂空气泡，空气泡因此不能完全抽真空。尤其是在其他制造过程中，这样在焊接、铣削、填充、抽真空和中间步骤中会出现制造误差。这是铣削误差和接合误差以及在抽真空时的空气夹杂。空气夹杂、气泡可以对密封隔膜的抽真空状态有负面影响并且例如会导致有误差的监控结果或在压力路径中的差的传递并且这样导致差的测量结果。这例如在由于膜片的运动分离的游移的空气泡的情况下或但尤其会使压力测量失真，空气泡会导致错误显示双膜片装置的泄露。

发明内容