[发明专利]一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法

说明书

本发明公开一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，根据AOI设备检测微米级颗粒物坐标位置、大小尺寸等特征信息，根据该检测信息，使用量具在平板玻璃确定颗粒物的初步位置，采用强光LED灯侧光斜照射该初步位置，确定颗粒物的准确位置，同时观测颗粒物影像，由颗粒物影像亮暗程度及重影特征判定颗粒物属性，然后对颗粒物的准确位置进行切割，并用PE保护专用膜或培养皿包装裁切玻璃平板样品，解决了平板玻璃颗粒物取样易被各种污染物干扰的问题，该方法具有较高的使用价值和推广价值。

技术领域

本发明涉及平板玻璃缺陷的检测领域，具体为一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，在无污染条件下能够快速准确的对平板玻璃的微米级颗粒物进行取样。

背景技术

平板玻璃板常用于平板显示领域的基板，如液晶玻璃基板和有机发光二极管玻璃基板，其中TFT-LCD面板使用二片液晶玻璃基板，分别用来制作底层薄膜晶体管阵列的基板和上层彩色滤波薄膜的基板，两种产品在LCD制程中需要多次精密光刻加工，要求液晶玻璃基板制作表面颗粒物和内部夹杂物，应控制在20um以内。

在实际生产质量管理中，通常需要取样分析20um以内微米级颗粒物，进行质量改善对策。但是在颗粒物取样操作过程，存在空气尘埃、扰动浮灰、裁切玻璃粉等污染，造成取到虚假颗粒物样品，误导质量分析对策方向和思路。

针对以上的技术问题，实有必要设计一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，解决取样困难的问题。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提供了一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，符合平板玻璃板质量评定标准，在实际生产中提供分析平板玻璃板质量可靠的方法和途径。

本发明是通过以下技术方案来实现：

一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，包括以下步骤：

S1、将平板玻璃固定在检查台，采用AOI设备检测平板玻璃上的颗粒物，根据AOI设备检测的图像中颗粒物的坐标，在平板玻璃上确定颗粒物的初步位置；

S2、在暗场条件下采用光源倾斜照射所述初步位置，寻找初步位置的颗粒物，所述颗粒物为对比度小于1000的亮点；

S3、对步骤S2中的颗粒物进行位置标定；

S4、将所述步骤S3中的标定的位置进行切割，提取平板玻璃样品。

进一步，在步骤S1中所述初步位置的确定方法为，采用量具在平板玻璃上确定所述坐标的位置，并以该坐标位置为中心在平板玻璃的表面标定一个直径为10mm的圆。

进一步，所述光源为15-20K Lux LED灯。

进一步，所述光源倾斜照射的角度为5°～70°。

进一步，在所述步骤S2中进一步移动光源的照射角度，根据颗粒物影子的尺寸以及颗粒物影子与颗粒物是否重合，确定颗粒物位于平板玻璃的下表面或上表面；

若颗粒物影子的尺寸大于颗粒物，且与颗粒物部分重合，则颗粒物接近平板玻璃的下表面；

若颗粒物无影子或影子小于颗粒物且与颗粒物不重合，则颗粒物接近玻璃板上表面。

进一步，在所述步骤S3中，位置标定的方法为以颗粒物为中心标定一个直径为0.5mm的圆。

进一步，在所述步骤S4中，切割取样时，直接切割或在平板玻璃的颗粒物位置的两侧贴附PE膜后进行切割。

进一步，所述平板玻璃样品的尺寸为(20～30)mm×(20～30)mm。

与现有技术相比，本发明具有以下有益的技术效果：