[发明专利]柔性OLED显示面板的制备方法有效
申请号: | 201711174574.0 | 申请日: | 2017-11-22 |
公开(公告)号: | CN107978687B | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 王超梁 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;黄进 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 oled 显示 面板 制备 方法 | ||
本发明公开了一种柔性OLED显示面板的制备方法,其包括:提供支撑基板,在所述支撑基板的第一表面上制备形成导电层;在所述导电层上制备形成柔性衬底;在所述柔性衬底上制备形成OLED显示单元;采用激光从所述支撑基板的与所述第一表面相对的第二表面对所述支撑基板进行照射,将所述柔性衬底从所述支撑基板上剥离。通过在支撑基板和柔性衬底之间设置导电层,在进行激光剥离工艺时,该导电层可以将电离产生的正负离子及时导出,避免发生放电导致柔性OLED显示面板中的电路结构发生损坏。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性OLED显示面板的制备方法。
背景技术
有机电致发光二极管(Organic light-emitting diodes,OLED)显示面板具备自发光、对比度高、厚度薄、视角广和反应速度快等优点,是新一代平面显示技术的代表,越来越受到业界的推崇。柔性OLED显示面板是其中的一个重要发展趋势,通常地,柔性OLED显示面板包括柔性基底和形成在所述柔性基底上的OLED显示单元,所述OLED显示单元包括依次形成在所述柔性基底上薄膜晶体管阵列层、阳极层、有机发光层、阴极层和封装层。
柔性OLED显示面板不仅能够在体积上更加轻薄,而且能够降低功耗,从而有助于提升相应产品的续航能力。同时,由于柔性OLED显示面板的可弯曲性和柔韧性,其耐用程度也高于普通硬质显示面板。柔性OLED显示面板可广泛应用于各种带显示功能的产品中,例如可以应用于平板电脑、电视、移动终端和各类可穿戴式设备中。
柔性OLED显示面板在带来一系列优点的同时也具有其本身的缺陷,由于柔性基板具有挠性和热膨胀性等问题,给显示器件的加工带来不便,容易出现基板下垂,甚至产生褶皱或断裂,很难精准的进行后续膜层的制备工序。为了解决该问题,需要将柔性基板连接于刚性的基板如玻璃基板上,用以支撑和固定柔性基板以利于薄膜的形成。在柔性基板上制备形成显示面板的各层元件之后,再通过剥离工艺,将刚性基板从柔性基板上剥离开来,从而完成柔性显示面板的制备工作。
现有技术中,通常使用激光剥离(Laser lift off,LLO)工艺将柔性基板与玻璃基板分离。具体是,在玻璃基板上制备得到柔性OLED显示面板之后,采用激光从玻璃基板的背面进行照射,玻璃基板与柔性基板之间的分子作用力吸收激光能量后发生断裂,从而使得柔性基板和玻璃基板相互分离。
目前,用于制备形成柔性基板的材料通常是高分子有机材料,例如聚酰亚胺(PI),高分子有机材料在吸收激光能量后会发生电离,产生正负离子。而玻璃基板与高分子有机材料(柔性基板)的导电能力都比较弱,因此,在进行激光剥离工艺时,玻璃基板与柔性基板的连接界面上会聚集电离产生的正负离子,当正负离子聚集到一定量时,正负离子之间发生放电,存在对柔性OLED显示面板中的电路结构造成损坏的风险。
因此,现有技术还有待于改进和发展。
发明内容
鉴于现有技术的不足,本发明提供了一种柔性OLED显示面板的制备方法,用于提高生成效率并降低生产成本。
为了实现上述目的,本发明采用了如下的技术方案:
一种柔性OLED显示面板的制备方法,其包括:提供支撑基板,在所述支撑基板的第一表面上制备形成导电层;在所述导电层上制备形成柔性衬底;在所述柔性衬底上制备形成OLED显示单元;采用激光从所述支撑基板的与所述第一表面相对的第二表面对所述支撑基板进行照射,将所述柔性衬底从所述支撑基板上剥离。
其中,所述导电层为图案化的导线,所述导线相互交错连接形成具有通孔的网状结构的导电层。
其中,所述导线纵横垂直交错连接,所述通孔为方形通孔。
其中,所述导电层的光线透过率为90%以上。
其中,所述导线延伸至所述支撑基板的四周侧面。
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