[发明专利]显示基板检测设备的机差补偿方法及装置、检测设备

权利要求书

1.一种显示基板检测设备的机差补偿方法，其特征在于，包括：

获取基础的位置偏差数据，所述基础的位置偏差数据为采用基准检测设备对显示基板上形成的图案进行位置检测生成的；

获取各次的位置偏差数据，所述各次的位置偏差数据为采用待调整检测设备对所述显示基板上形成的图案进行多次重复位置检测生成的；

根据所述基础的位置偏差数据和各次的位置偏差数据生成位置偏差参考补偿值，以对待调整检测设备在检测中生成的位置偏差数据进行补偿；

所述根据所述基础的位置偏差数据和各次的位置偏差数据生成位置偏差参考补偿值，包括：

根据所述基础的位置偏差数据和待调整检测设备其中一次检测获取的位置偏差数据生成位置偏差理论补偿值；

根据待调整检测设备多次重复检测生成的各次的位置偏差数据生成位置偏差重复性补偿值；

根据所述位置偏差理论补偿值和所述位置偏差重复性补偿值生成位置偏差参考补偿值。

2.根据权利要求1所述的补偿方法，其特征在于，

所述根据所述基础的位置偏差数据和待调整检测设备其中一次检测生成的位置偏差数据生成位置偏差理论补偿值，包括：

将所述基础的位置偏差数据与待调整检测设备其中一次检测生成的位置偏差数据的差值作为所述位置偏差理论补偿值；

所述根据所述待调整检测设备多次重复检测生成的各次的位置偏差数据生成位置偏差重复性补偿值，包括；

将待调整检测设备多次重复检测生成的各次的位置偏差数据的平均值作为所述位置偏差重复性补偿值；

所述根据所述位置偏差理论补偿值和所述位置偏差重复性补偿值生成位置偏差参考补偿值，包括：

将所述位置偏差理论补偿值和所述位置偏差重复性补偿值的和作为所述位置偏差参考补偿值。

3.根据权利要求1或2所述的补偿方法，其特征在于，所述位置偏差数据包括显示基板上形成的图案在显示基板上的实际位置坐标与理论位置坐标的差值。

4.根据权利要求3所述的补偿方法，其特征在于，所述显示基板上形成的图案为显示基板上形成的有机发光单元的图案。

5.一种显示基板检测设备的机差补偿装置，其特征在于，包括：

基础偏差数据获取单元，用于获取基础的位置偏差数据，所述基础的位置偏差数据为采用基准检测设备对显示基板上形成的图案进行位置检测生成的；

重复偏差数据获取单元，用于获取各次的位置偏差数据，所述各次的位置偏差数据为采用待调整检测设备对所述显示基板上形成的图案进行多次重复位置检测生成的；

偏差参考补偿值生成单元，用于根据所述基础的位置偏差数据和各次的位置偏差数据生成位置偏差参考补偿值，以对待调整检测设备在检测中获取的位置偏差数据进行补偿；

所述偏差参考补偿值生成单元包括：

偏差理论补偿值计算子单元，用于根据所述基础的位置偏差数据和待调整检测设备其中一次检测生成的位置偏差数据生成位置偏差理论补偿值；

偏差重复性补偿值计算子单元，用于根据待调整检测设备多次重复检测生成的各次的位置偏差数据生成位置偏差重复性补偿值；

偏差参考补偿值计算单元，用于根据所述位置偏差理论补偿值和所述位置偏差重复性补偿值生成位置偏差参考补偿值。

6.根据权利要求5所述的补偿装置，其特征在于，

所述偏差理论补偿值计算子单元具体用于将所述基础的位置偏差数据与待调整检测设备其中一次检测生成的位置偏差数据的差值作为所述位置偏差理论补偿值；

所述偏差重复性补偿值计算子单元具体用于将待调整检测设备多次重复检测生成的各次的位置偏差数据的平均值作为所述位置偏差重复性补偿值；

所述偏差参考补偿值计算子单元具体用于将所述位置偏差理论补偿值和所述位置偏差重复性补偿值的和作为所述位置偏差参考补偿值。

7.根据权利要求5或6所述的补偿装置，其特征在于，所述位置偏差数据包括显示基板上形成的图案在显示基板上的实际位置坐标与理论位置坐标的差值。

8.一种显示基板检测设备，其特征在于，包括权利要求5-7任一项所述的补偿装置。