[发明专利]物料固持装置及物料检测方法

说明书

本发明提供了一种物料固持装置及物料检测方法，所述物料固持装置包括定位板、物料固定机构、转接板卡、底座、通用接口，所述定位板设置在所述底座之上，其中所述底座设置有通用接口，以实现与外部检测设备对接；所述转接板卡用于将物料的检测接口与外部检测设备进行连接。通过所述物料固持装置的通用接口实现与外部检测设备自动、快速地对接，并且所述物料固持装置在对物料进行夹持及移动时，无需与外部设备进行连接就能够实现夹持，提高了检测产线工作效率。

技术领域

本发明涉及微电子装备领域，尤其涉及一种物料固持装置及物料检测方法。

背景技术

在微电子装备制造业中，通常需要使用各种机台对工件进行一系列的加工、移动和检测等操作。所述操作需要先对工件进行夹持、定位，然后才可以进行加工和检测。

在微电子产品的生产中，一般地为了保证产品或者半成品的品质，需要对产品(物料)进行缺陷检测(如OTP检测、电检等)。物料检测的流水线流程图如图1所示：首先，将检测对象(以下也称为“物料”)由传输设备传输至A处进行夹持，并与检测设备进行连接，在A处检测完备后，再将物料进行解锁，解锁后再由传输设备将物料传输至下一工位B处进行夹持、连通、检测，检测完后再解锁；以此类推再到下一工位C、D等。

而且，传统的操作模式有以下几处特点：

(1)在每个检测工位都需要一套夹持装置；

(2)在每个工位进行检测时，都需要将物料与当前工位的夹持装置夹紧、与检测电路接口进行连接、解锁等重复操作；

(3)当物料尺寸变更时，需要在对每个检测工位的夹持装置进行更换。

由此可以看出，传统的检测模式需要较多的人工操作且操作重复性大，由于检测次数较多需要进行多次重复操作，大大降低了检测产线的工作效率，这对机械化大生产流水线作业有很大阻碍作用。

需要说明的是，公开于该发明背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的一般背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明提供一种物料固持装置及物料检测方法，使物料能够快速地与外部检测设备进行连接、检测及移动。

为了达到上述目的，在本申请的一个方面，提供一种物料固持装置，包括定位板、物料固定机构、转接板卡、底座、通用接口，所述定位板设置在所述底座之上，

其中所述底座设置有通用接口，以实现与外部检测设备对接；所述转接板卡用于将物料的检测接口与外部检测设备进行连接。

在一些实施例中，所述物料固定机构包括夹头机构和/或吸盘，所述吸盘用于吸附物料，所述夹头机构设置在所述吸盘的周围并且用于将所述物料夹紧在所述吸盘上。

在一些实施例中，所述转接板卡设置在所述底座内部。

在一些实施例中，所述定位板的尺寸和型号与物料的尺寸或材料保持一致。

在一些实施例中，所述转接板卡具有转接板卡接口，用于与所述物料的检测接口对接。

在一些实施例中，所述夹头机构包括夹头、气缸、气缸活塞、弹性构件、力传感器、调节构件、以及压力传感器，所述压力传感器连接至调节构件，所述力传感器连接所述弹性构件的一端，所述夹头连接气缸活塞并且在所述气缸活塞的带动下运动。

在一些实施例中，所述弹性构件是弹簧。

在一些实施例中，所述调节构件是调节螺杆。

在一些实施例中，通过将夹持有物料的物料固持装置进行移动来对所述物料进行移动。

在一些实施例中，通过调节所述调节构件来调节所述夹头的夹持力度。