[发明专利]物料固持装置及物料检测方法有效

专利信息
申请号: 201711160596.1 申请日: 2017-11-20
公开(公告)号: CN109807767B 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 卢彧文;王璟;周畅;廖飞红;徐健 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00;G01D21/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 物料 装置 检测 方法
【权利要求书】:

1.一种物料检测方法,其特征在于,包括:

步骤a:采用物料固持装置对物料进行固持;其中,所述料固持装置包括定位板、物料固定机构、转接板卡、底座、通用接口,所述定位板设置在所述底座之上,

其中所述底座设置有通用接口,以实现与外部检测设备对接;

所述转接板卡用于将物料的检测接口与外部检测设备进行连接;

所述物料固定机构设置在所述底座上;

步骤b:将固持有物料的物料固持装置通过所述通用接口与外部检测设备连接;

步骤c:在检测完成后将所述通用接口与所述外部检测设备断开;

步骤d:通过传输设备将固持所述物料的所述物料固持装置移动到另一检测工位处进行检测。

2.根据权利要求1所述的物料检测方法,其特征在于,在对多个物料进行检测时,提供对应多个物料固持装置,并且分别对多个物料进行固持操作,在一个夹持有物料的物料固持装置在一检测工位检测完毕移动到下一检测工位进行检测时,将另一个装有物料的物料固持装置连接到所述检测工位进行检测。

3.根据权利要求1所述的物料检测方法,其特征在于,所述物料固定机构包括夹头机构和/或吸盘,所述吸盘用于吸附物料,所述夹头机构设置在所述吸盘的周围并且用于将所述物料夹紧在所述吸盘上。

4.根据权利要求3所述的物料检测方法,其特征在于,所述夹头机构包括夹头、气缸、气缸活塞、弹性构件、力传感器、调节构件、以及压力传感器,所述压力传感器连接至调节构件,所述压力传感器连接所述弹性构件的一端,所述夹头连接气缸活塞并且在所述气缸活塞的带动下运动。

5.根据权利要求4所述的物料检测方法,其特征在于,所述弹性构件是弹簧。

6.根据权利要求4所述的物料检测方法,其特征在于,所述调节构件是调节螺杆。

7.根据权利要求4所述的物料检测方法,其特征在于,通过调节所述调节构件来调节所述夹头的夹持力度。

8.根据权利要求1所述的物料检测方法,其特征在于,所述转接板卡设置在所述底座内部。

9.根据权利要求1所述的物料检测方法,其特征在于,所述定位板的尺寸和型号与物料的尺寸或材料保持一致。

10.根据权利要求9所述的物料检测方法,其特征在于,通过将夹持有物料的物料固持装置进行移动来对所述物料进行移动。

11.根据权利要求1所述的物料检测方法,其特征在于,所述转接板卡具有转接板卡接口,用于与所述物料的检测接口对接。

12.根据权利要求11所述的物料检测方法,其特征在于,所述转接板卡接口设置在物料固持装置的左部或上部或右部或下部。

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