[发明专利]一种坩埚

说明书

本发明公开了一种坩埚，包括：具有埚口的埚体；埚盖，盖装在埚口处、并通过螺栓与埚体锁紧连接在一起；和可发生热膨胀的金属件，设置于埚体和埚盖之间，并在受热时通过自身膨胀来消除埚体和埚盖之间的缝隙。本发明提供的坩埚，埚体和埚盖之间设置有可发生热膨胀的金属件，金属件在受热时通过自身的膨胀来挤压埚体和埚盖，以此来消除埚体和埚盖之间的缝隙，使得埚体和埚盖更好地实现密封，避免出现泄漏的问题，防止宕机；另外坩埚在锁紧螺栓时螺栓的锁紧力也不需要特别大，更方便于组装，同时还能够减少埚盖与螺帽因旋紧挤压而带来的磨损，而蒸镀时螺栓会通过金属件的膨胀对锁紧力进行提升补偿、来保证密封，其实用性更好。

技术领域

本文涉及但不限于蒸镀技术，尤指一种坩埚。

背景技术

现有的坩埚包括埚体和埚盖，埚体和埚盖均呈矩形状，坩埚的任一侧边上均锁紧有多个螺栓，螺栓用于锁紧埚体和埚盖在一起。由于坩埚的使用温度较高，故在埚体和埚盖之间不能设置诸如硅胶、橡胶等的密封垫进行密封，当前采用的密封方式为：埚体的口沿的平面与埚盖的下端面相压紧实现密封，这就要求螺栓的锁紧力较大。

其中，螺栓的螺帽直接抵压在埚盖上，当用力拧螺栓时，螺栓的螺帽与埚盖产生摩擦，随着拆装次数的增加，螺栓会将埚盖上的穿插孔(圆形状)的上端面压凹陷而向穿插孔内侧凸起(穿插孔的孔壁发生变形而呈非圆形状)，此种情况下螺栓不容易完全穿过穿插孔，也就是螺旋不能在埚体上旋紧到位，这时埚体和埚盖之间就会出现缝隙而导致泄漏，进而发生宕机问题。

发明内容

为了解决上述技术问题中的至少之一，本文提供了一种坩埚，能够更好地封堵住埚体和埚盖之间的缝隙，避免随着拆装次数的增加而在埚体和埚盖之间出现泄漏的问题，其实用性更好。

为了达到本文目的，本发明提供了一种坩埚，包括：具有埚口的埚体；埚盖，盖装在所述埚口处、并通过螺栓与所述埚体锁紧连接在一起；和可发生热膨胀的金属件，设置于所述埚体和所述埚盖之间，并在受热时通过自身膨胀来消除所述埚体和所述埚盖之间的缝隙。

可选地，所述埚体上设置有容纳槽，所述埚盖同时还覆盖所述容纳槽的槽口，所述金属件位于所述容纳槽内；其中，所述金属件受热膨胀时同时压紧所述容纳槽的槽壁和所述埚盖。

可选地，所述金属件和所述容纳槽均呈环形状。

可选地，所述金属件与所述埚盖为一体式结构。

可选地，所述埚盖上设置有T形的插槽，所述埚体的外侧面上凸出有两插筋，所述埚体通过两所述插筋可推拉地插装于所述插槽内，所述金属件位于所述插筋和所述插槽的槽壁之间；其中，所述金属件受热膨胀时同时压紧所述插筋和所述插槽的槽壁。

可选地，所述埚口位于所述埚体的上部，所述金属件设置于所述插筋的下端面与所述插槽的槽壁之间；其中，所述金属件受热膨胀时同时压紧所述插筋和所述插槽的槽壁，以使得所述埚口的口沿压紧在所述埚盖的下端面上。

可选地，所述金属件上设置有供所述螺栓穿过的通孔。

可选地，所述坩埚还包括：金属垫片，设置于所述螺栓的螺帽和所述埚体之间。

可选地，所述埚体和所述埚盖均呈矩形状，所述金属垫片呈长条形状。

可选地，所述金属件的材质为铝合金，所述金属垫片的材质为白钢。

与现有技术相比，本发明提供的坩埚，埚体和埚盖之间设置有可发生热膨胀的金属件，金属件在受热时通过自身的膨胀来挤压埚体和埚盖，以此来消除埚体和埚盖之间的缝隙，使得埚体和埚盖更好地实现密封，避免出现泄漏的问题，防止宕机；另外坩埚在锁紧螺栓时螺栓的锁紧力也不需要特别大，更方便于组装，同时还能够减少埚盖与螺帽因旋紧挤压而带来的磨损，而蒸镀时螺栓会通过金属件的膨胀对锁紧力进行提升补偿、来保证密封，其实用性更好。