[发明专利]一种空间曲梁六自由度微位移工作台

权利要求书

1.一种空间曲梁六自由度微位移工作台，包括基座(1)、工作台(2)、侧板(4)、Z型驱动架(5)、L型驱动架(6)和驱动微分头；其特征在于：所述的工作台(2)通过柔顺曲梁元件(3)安装到基座(1)上，所述的柔顺曲梁元件(3)有四组，分别安装在工作台(2)的四周；每组柔顺曲梁元件(3)由两段四分之一圆弧曲梁组成，呈“人”字型安装在工作台(2)的一侧；圆弧曲梁的上端固定在工作台(2)上、下端固定在基座(1)上；所述的侧板(4)有四个，分别安装在工作台(2)的四周；所述的Z型驱动架(5)有四个，分别固定在基座(1)四周；所述的L型驱动架(6)有两个，分别安装在工作台(2)两侧的基座(1)的上，在所述的 Z型驱动架(5)和L型驱动架(6)上均安装水平驱动微分头；在所述的 Z型驱动架(5)上均安装垂直驱动微分头。

2.根据权利要求1所述的一种空间曲梁六自由度微位移工作台，其特征在于：所述的Z型驱动架(5)安装在基座(1)的中心轴线上；所述的L型驱动架(6)安装在基座(1)同一中心轴线的两侧。

3.根据权利要求1所述的一种空间曲梁六自由度微位移工作台，其特征在于：所述的基座(1)水平面形状为方形。

4.根据权利要求1所述的一种空间曲梁六自由度微位移工作台，其特征在于：所述的圆弧曲梁的上端通过内六角圆柱头螺钉固定在工作台(2)侧边的中部。

5.根据权利要求1所述的一种空间曲梁六自由度微位移工作台，其特征在于：所述的Z型驱动架(5)通过内六角沉头螺钉固定在基座(1)四周的凹槽处。

6.根据权利要求1所述的一种空间曲梁六自由度微位移工作台，其特征在于：整个工作台为中心对称结构。