[发明专利]一种新型的实时监控光刻胶喷涂系统及工作方法

权利要求书

1.一种新型的实时监控光刻胶喷涂系统，其特征在于，包括：

光刻胶瓶；

光刻胶储存罐，所述光刻胶储存罐的入口端连接所述光刻胶瓶的出口端；

光刻胶供应系统，所述光刻胶供应系统包括光刻胶过滤器、光刻胶压缩泵和流量调节阀；所述光刻胶过滤器安装于所述光刻胶压缩泵的入口端处；所述光刻胶储存罐的出口端连接所述光刻胶过滤器的入口端，所述光刻胶过滤器的出口端连接所述光刻胶压缩泵的入口端；所述流量调节阀的入口端连接所述光刻胶压缩泵的出口端；

喷嘴，所述喷嘴的入口端连接所述流量调节阀的出口端；

红外线检测器，所述红外线检测器设置于所述喷嘴上；所述红外线检测器连接涂布控制单元，所述涂布控制单元连接机台通信系统，所述机台通信系统连接机台运行数据整合系统。

2.根据权利要求1所述一种新型的实时监控光刻胶喷涂系统，其特征在于，所述红外检测器能监控光刻胶实际开始涂布和的结束涂布的时间。

3.根据权利要求1所述一种新型的实时监控光刻胶喷涂系统，其特征在于，所述光刻胶可采用I-line，Krf，Arf的光刻胶和抗反射料、填充材料和防水膜等。

4.一种新型的实时监控光刻胶喷涂系统的工作方法，其特征在于，包括权利要求1～3的一种新型的实时监控光刻胶喷涂系统，所述工作方法包括：

步骤一、当涂布机开始工作时，所述涂布控制单元根据设定的程序将信号发送至所述光刻胶供应系统；

步骤二、将光刻胶从所述光刻胶瓶输送至所述光刻胶储存罐，再经由所述光刻胶过滤器、所述光刻胶压缩泵和所述流量调节阀；之后所述喷嘴将所述光刻胶按照既定程序涂布在晶圆上；

步骤三、所述喷嘴将所述光刻胶开始涂布时，所述红外线检测器会检测到所述光刻胶开始喷涂，并将发送信号至所述涂布控制单元，当涂布完成时所述红外线检测器也会侦测到并将信号发送所述涂布控制单元；

步骤四、所述涂布控制单元根据所述红外线检测器所反馈的信号计算出实际的涂布时间，通过所述机台通信系统将得到的数据反馈到所述机台运行数据整合系统中并和程序设定的理论涂布时间做比对来判定涂布是否正常；

步骤五、如果发生涂布时间异常就会实时反应在所述机台运行数据整合系统中，并将受到影响得产品及时逮到，待工程师处理。