[发明专利]一种用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台

说明书

本发明公开了一种用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台，包括：底座，其上端面设有凹槽，并设有用于定位生物芯片的定位装置，底座的表面具有防生化试剂腐蚀的氧化层；吸附盘，其安装在底座的凹槽内，并凸出于凹槽，吸附盘上设有从侧面延伸至内部的第一气道，吸附盘的上表面设有与第一气道联通的第二气道，吸附盘由防生化试剂腐蚀的材料制成。由于吸附盘安装在底座的凹槽内，凹槽的设计可有效防止生化试剂的滴漏，避免了生化试剂对承载运动平台的腐蚀破坏；吸附盘采用耐生化试剂腐蚀的材料制成，底座具有防生化试剂腐蚀的氧化层，底座和吸附盘采用不同材料结合，不仅具有良好的防生化试剂腐蚀效果，而且节约了成本。

技术领域

本发明涉及基因检测技术领域，具体涉及一种用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台。

背景技术

基于半导体晶元的生物芯片目前使用越来越广泛，使得生物芯片的面积越来越大，而生物芯片与半导体工艺中的硅片相比，具有更加复杂的环境和使用要求，并且需要对成本需要严格控制。二代基因测序技术采用单晶硅基底制作生物芯片，通过对标准单晶硅片做相应的表面处理后，可以承载高密度排布的待测DNA序列，硅片越大，单片芯片包含的数据量就越大。由于类似的生物芯片需要经过多次重复的生化反应和精确的荧光成像才能完成复杂的测序过程。生物芯片在生化反应时要接触带一定腐蚀性的试剂，同时承受温度在一定范围内的变化，在荧光成像时需要进行高效率的装载和卸载，同时保证位置精度，扫描成像时需要对表面DNA进行保护和荧光物质的信号强化，生物芯片表面须覆盖一层生化试剂。一般试剂内含有氧化活性和非化学中性的物质，所以对一般金属具有腐蚀性，而且生化试剂蒸发后容易结晶，对承载系统的腐蚀和堵塞比较严重，需要在吸附平台设计时进行特殊考虑。

目前商用的吸附卡盘一般专门为半导体供应商设计，包括真空吸附和静电吸附，后者会对生物大分子产生影响，不能适用。为了保证面型精度和轻量化，目前采用的多为陶瓷真空吸附盘(碳化硅、氧化铝、氧化锆等)，其加工难度大，成本高；还采用少量的金属真空吸附盘，但其精度有限，而且不耐生化试剂的腐蚀，不能满足生物芯片的使用。

发明内容

本申请提供一种成本低、耐生化试剂腐蚀的用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台。

根据第一方面，一种实施例中提供一种用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台，包括：

底座，其上端面设有凹槽，并设有用于定位生物芯片的定位装置，底座的表面具有防生化试剂腐蚀的氧化层；

吸附盘，其安装在底座的凹槽内，并凸出于凹槽，吸附盘上设有从侧面延伸至内部的第一气道和露出于上表面的第二气道第一气道和第二气道相互联通，吸附盘由防生化试剂腐蚀的材料制成。

进一步地，吸附盘由钛合金或者碳纤维复合材料制成，底座由航空铝合金制成。

进一步地，定位装置包括至少两个气动定位销，至少两个气动定位销均匀分布在凹槽外侧的圆周上。

进一步地，底座下端设有用于调节吸附盘上表面水平度的水平调节装置。

进一步地，水平调节装置包括至少三个调平促进器，至少三个调平促进器均匀分布在底座下表面边缘位置的圆周上。

进一步地，调平促进器为细牙精密螺旋促动器。

进一步地，第二气道弯曲成阿基米德螺旋曲线。

根据第二方面，一种实施例中提供一种用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台，还包括芯片装卸框，芯片装卸框的中部设有一个大于吸附盘并小于生物芯片的开口，并在开口的边缘设有用于粘接固定生物芯片的内凹台阶面，芯片装卸框上设有用于定位拾取的第一定位孔和用于定位在底座上的第二定位孔。

进一步地、内凹台阶面的内凹深度大于或等于生物芯片的厚度。