[发明专利]真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法

说明书

本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法，其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化，高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化，从而减少反应生成物的堆积。旋转体（4）具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体（4A）与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体（4B），构成为在第2圆筒体（4B）的外周面上以多级配置有多个动翼（6），由第1圆筒体（4A）的内表面（S1）与第2圆筒体（4B）的内表面（S2）构成的圆筒内表面的至少一部分以及第1圆筒体（4A）的外表面（Q1）构成为放射率比动翼（6）的外表面小的低放射率部。

技术领域

本发明涉及被用作半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中的处理腔室、其他密闭腔室的气体排气机构等的真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法。

背景技术

以往，作为这种真空泵，例如已知有专利文献1或者专利文献2所记载的真空泵。若参照专利文献1的图3（c），则在该专利文献1所记载的以往的真空泵中，将一片动翼（12）的上表面构成为高放射率部（高放射区域），该动翼（12）具体而言是最下级的动翼（12），另一方面，将相同的动翼（最下级的动翼）的下表面构成为低放射率部（低放射区域）。这是因为，通过减少从螺纹槽泵定子（圆筒状定子22）向最下级的动翼（12）的热放射，从而易于实现螺纹槽泵定子（圆筒状定子22）的高温化，减少螺纹槽泵定子（圆筒状定子22）中的反应生成物的堆积。

然而，为了获得具备上述那样的高放射率部与低放射率部的动翼（12），例如在通过药液设置高放射率部时，为了保护低放射率部（最下级的动翼（12）的下表面）免受该药液，需要用遮蔽部件遮蔽最下级的动翼的下表面（低放射率部）。

然而，若根据专利文献1所记载的真空泵，则在动翼（12）的构造上，难以如上述那样用遮蔽部件遮蔽最下级的动翼（12）的下表面（低放射率部），存在由于遮蔽不良导致的不良情况，即，期望构成为低放射率部的原来的范围（最下级的动翼（12）的下表面）局部地构成为不期望的高放射率部。在该情况下，容易经由该不期望的高放射率部从螺纹槽泵定子（圆筒状定子22）朝向最下级的动翼（12）侧转移热量，因此难以将期望通过局部的高温化减少反应生成物的堆积的部分，即螺纹槽泵定子（圆筒状定子22）高温化，存在不能充分地减少螺纹槽泵定子中的反应生成物的堆积这一问题。

另外，在专利文献1中，关于旋转体（泵转子10）的内表面具有什么程度的放射率这一点，未做任何公开和启示。在旋转体（泵转子10）的内表面的放射率较高的情况下，旋转体（泵转子10）的热量向旋转体（泵转子10）内侧的部件放射，更难以实现螺纹槽泵定子，即需要高温化的部分的高温化，并且，位于旋转体（泵转子10）的内侧的电装部件，例如支承该旋转体的磁轴承、驱动该旋转体的马达等会被加热，从而还设想会产生该电装部件的误操作、泵故障等不良情况。

专利文献1：日本特开2015－229949号公报。

专利文献2：日本特开2005－320905号公报。

发明内容

本发明鉴于上述情况而作出，其目的在于提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法，其适合避免控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化，高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化，从而减少反应生成物的堆积。

为了实现前述目的，第1本发明是一种真空泵，其利用旋转体的旋转对气体进行吸气及排气，上述真空泵的特征在于，上述旋转体具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体，在上述第2圆筒体的外周面以多级配置有多个动翼，由上述第1圆筒体的内表面与上述第2圆筒体的内表面构成的圆筒内表面的至少一部分、以及上述第1圆筒体的外表面构成为放射率比上述动翼的外表面小的低放射率部。

在前述第1本发明中，也可以以下述内容为特征：在上述低放射率部和与该低放射率部邻接设置的高放射率部之间存在中间部，该中间部具备比上述低放射率部的放射率大并且比上述高放射率部的放射率小的放射率。