[发明专利]一种等离子体状态及其寿命的诊断装置和诊断方法

权利要求书

1.一种等离子体状态及其寿命的诊断装置，包括飞秒激光器、激光脉冲延时器、延时器控制线、装载有聚焦透镜的电动平移台、真空腔、电脑、电机控制线和CCD数据线，其特征在于所述飞秒激光器、激光脉冲延时器、电动平移台和真空腔从左到右依次设置，所述飞秒激光器用于发射激光，所述电脑通过延时器控制线与激光脉冲延时器相连接，控制激光在激光脉冲延时器上的延时位移，所述电脑通过电机控制线与电动平移台相连接，控制聚焦透镜在电动平移台上的位移，所述真空腔的左端设有入射窗，所述真空腔的右端设有X射线专用CCD探头，X射线专用CCD探头通过CCD数据线与电脑相连接，所述入射窗和X射线专用CCD探头之间在真空腔内依次设有靶室、过滤膜和X射线光谱仪，所述靶室内部装有待测等离子体，所述靶室连接有导流管。

2.根据权利要求1所述一种等离子体状态及其寿命的诊断装置，其特征在于所述诊断装置的诊断方法为：

步骤(1)，将诊断装置组装完成，然后对真空腔进行抽真空处理，并维持真空腔内的高真空环境；

步骤(2)，将待测等离子体通过导流管导入靶室内；

步骤(3)，启动飞秒激光器，飞秒激光器发射激光，激光穿过激光脉冲延时器后通过聚焦透镜汇聚合束准直射向靶室，与靶室内的待测等离子体相互作用产生高次谐波；

步骤(4)，高次谐波及残余的激光经过滤膜过滤，得到干净的高次谐波，干净的高次谐波通过X射线光谱仪光谱展开和分辨后，得到高次谐波光谱线；

步骤(5)，高次谐波光谱线被X射线专用CCD探头探测并记录，X射线专用CCD探头将探测到的光谱信息通过CCD数据线传输给电脑，电脑对光谱信息进行分析和处理，解析出待测等离子体的状态及其寿命。