[发明专利]用于线性涂布机中的清洗液过滤装置、方法及线性涂布机

权利要求书

1.一种用于线性涂布机中的清洗液过滤装置，其特征在于，所述清洗液过滤装置包括：

容器本体，其一侧通过第一管道与线性涂布机中盛放清洗液的清洗槽的底部连通；

设置于所述容器本体内的两层过滤膜片，用于过滤所述清洗液中的光阻以及光阻添加剂；其中，第一层过滤膜片为光阻过滤膜片，用于过滤掉大分子光阻，第二层过滤膜片为有机渗透膜，用于过滤掉小分子光阻添加剂；

蒸馏冷凝装置，设置于所述两层过滤膜片与输送管道之间，用于对经所述两层过滤膜片过滤后的清洗液进行蒸馏冷凝处理，获得处理后的过滤液；

输送管道，用于将依次经过滤和蒸馏冷凝处理后的清洗液输送至所述清洗槽中。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，在所述第一管道上设置有第一开关；在所述输送管道上设置有第二开关以及输送泵。

3.一种线性涂布机，其包括主框架、设置于所述主框架上的用于放置玻璃基板的涂布台、移动涂布机构、喷嘴头、预吐滚轴、盛放清洗液的清洗槽，其特征在于，进一步包括清洗液过滤装置，所述清洗液过滤装置包括：

容器本体，其一侧通过第一管道与线性涂布机中盛放清洗液的清洗槽的底部连通；

设置于所述容器本体内的两层过滤膜片，用于过滤所述清洗液中的光阻以及光阻添加剂；其中，第一层过滤膜片为光阻过滤膜片，用于过滤掉大分子光阻，第二层过滤膜片为有机渗透膜，用于过滤掉小分子光阻添加剂；

蒸馏冷凝装置，设置于所述两层过滤膜片与输送管道之间，用于对经所述两层过滤膜片过滤后的清洗液进行蒸馏冷凝处理，获得处理后的过滤液；

输送管道，用于将依次经过滤和蒸馏冷凝处理后的清洗液输送至所述清洗槽中。

4.如权利要求3所述的线性涂布机，其特征在于，在所述第一管道上设置有第一开关；在所述输送管道上设置有第二开关以及输送泵。

5.一种用于线性涂布机中的清洗液过滤方法，在如权利要求3-4任一项所述的线性涂布机中实现，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S10，当喷嘴头在所述预吐滚轴上完成预吐操作后，将清洗槽中的清洗液输送到所述清洗液过滤装置中；

步骤S11，对所述清洗液经过两层过滤膜片进行过滤；

步骤S12，通过蒸馏冷凝装置对所述经过滤膜片过滤后的清洗液进行蒸馏冷凝处理，获得处理后的过滤液；

步骤S13，将经过滤后的清洗液输送回至所述清洗槽中。