[发明专利]掩模组件有效
申请号: | 201711051595.3 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN109722624B | 公开(公告)日: | 2021-03-02 |
发明(设计)人: | 张金方;张露;韩珍珍;胡思明 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模组 | ||
1.一种掩模组件,用于显示屏制备的蒸镀工艺,其特征在于,包括:
掩模板,设有若干开口域,以使蒸镀材料通过所述开口域进行沉积,所述开口域用于蒸镀一个完整的显示屏;
开口域遮挡部件,遮罩于所述开口域的蒸镀方向,以便形成显示倒角,所述开口域遮挡部件用于形成倒角的轮廓线为阶梯状折线,所形成显示倒角处的子像素为完整的子像素;
掩模附件,所述开口域遮挡部件固定连接于所述掩模附件上,所述掩模附件可相对所述掩模板运动以调整所述开口域遮挡部件相对所述开口域的位置。
2.根据权利要求1所述的掩模组件,其特征在于:
还包括框架,所述掩模附件通过所述框架固定。
3.根据权利要求1所述的掩模组件,其特征在于:
所述开口域遮挡部件具有若干个;
若干个所述开口域遮挡部件成阵列分布固定连接于所述掩模附件。
4.根据权利要求3所述的掩模组件,其特征在于,所述掩模附件可相对所述掩模板平动及定位。
5.根据权利要求3所述的掩模组件,其特征在于,所述掩模附件可相对所述掩模板转动及定位。
6.根据权利要求5所述的掩模组件,其特征在于,所述掩模附件与所述掩模板共转轴。
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