[发明专利]大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机

权利要求书

1.一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，其特征在于，包括机架、底盘、电弧源组件、旋转架组件、驱动机构和传动机构；

所述底盘由所述机架支撑而水平设置，所述底盘用于与所述大型罐体的开口端密封对接，形成以所述大型罐体作为真空镀室外壁的临时镀室，所述旋转架组件旋转密封地竖立在所述底盘中央，所述电弧源组件活动安装在所述旋转架组件上，其前端为电弧靶，靶面朝向所述大型罐体内壁，所述电弧源组件的水电气线路由所述底盘引出炉外，所述驱动机构通过所述传动机构与所述旋转架组件相连，驱动所述旋转架组件旋转并带动其上的所述电弧源组件作旋转运动，另所述驱动机构通过所述传动机构驱动所述电弧源组件作升降运动，并在所述电弧源组件上升到接近所述大型罐体顶部时，驱使所述电弧源组件前端像高低板一样绕一支点旋转仰起，与所述大型罐体的弧形封顶盖相对。

2.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述底盘上同心设有不同直径的密封槽，所述密封槽内安装有密封圈；并且，所述电弧源组件包括弧靶组件和弧靶支承组件，所述弧靶组件安装在所述弧靶支承组件上，并通过所述弧靶支承组件安装于所述旋转架组件上，所述弧靶支承组件可径向伸缩以靠近或远离罐体内壁，从而调整所述弧靶组件镀膜时的靶基距。

3.根据权利要求2所述的镀膜机，其特征在于，所述镀膜机还包括用于补偿高度，使罐体高度能与所述旋转架组件适配的不同高度的各种直径的附加法兰，所述附加法兰一面用于与所述底盘密封对接，另一面同样设置有密封圈，用于与相应罐体的开口端密封对接。

4.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述弧靶组件包括若干所述电弧靶，还包括一弧靶安装座，若干所述电弧靶集中安装在所述弧靶安装座上，所述弧靶安装座为一密闭箱体，所述电弧靶被密封安装在该密闭箱体的端面上，所述密闭箱体连通有一波纹管，并通过该波纹管穿过所述底盘伸到炉外，以便在真空的镀室内形成一条与外界连通的非真空通道，所述电弧源组件的水电气线路均从所述密闭箱体经所述通道引出炉外以与相应部分连接。

5.根据权利要求4所述的镀膜机，其特征在于，所述弧靶组件只有一个，若干所述电弧靶在所述弧靶安装座上分两列错位排布；并且，所述驱动机构驱动所述旋转架组件上的所述电弧源组件作360度的正反转运动，即旋转360度后即反转复位。

6.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述旋转架组件的结构为：所述旋转架组件包括旋转架、升降台、转盘、转动轴和限位器，所述旋转架为一竖立支架，它通过所述转盘固定在所述转动轴上，所述转动轴则旋转密封地安装在所述底盘中央并穿出；

所述升降台用于活动安装所述电弧源组件，其安装在所述旋转架上，可沿所述旋转架上升和下降，所述限位器安装在所述旋转架顶部，当所述升降台作上升运动，靠近所述旋转架顶部时，所述限位器与所述升降台上电弧源组件的尾端接触，下压所述电弧源组件的尾端，随所述升降台的继续上升，所述限位器使所述电弧源组件的前端像高低板一样绕一支点旋转仰起，与所述大型罐体的弧形封顶盖相对。

7.根据权利要求6所述的镀膜机，其特征在于，所述驱动机构包括第一驱动机构和第二驱动机构，而所述传动机构包括第一传动机构、第二传动机构、升降台传动轴和第三传动机构；

所述第一驱动机构通过所述第一传动机构，与穿出所述底盘的所述转动轴的外端相连，第一驱动机构通过驱动所述转动轴转动从而带动所述旋转架旋转，所述旋转架与所述转盘之间形成有一个与其外围真空镀室隔绝的非真空腔室，所述第二驱动机构安装在该腔室中，所述转动轴为一筒状空心轴，所述非真空腔室通过空心的所述转动轴与炉外连通，所述升降台传动轴旋转密封地安装在所述非真空腔室的腔壁上且穿出，所述第二驱动机构通过所述第二传动机构与所述升降台传动轴相连，驱动所述升降台传动轴旋转，所述升降台传动轴跨越非真空区到真空区，将所述第二驱动机构的动力传递到真空区，然后通过所述第三传动机构与所述升降台相连，通过所述第三传动机构带动所述升降台沿所述旋转架作升降运动。

8.根据权利要求7所述的镀膜机，其特征在于，引入炉内的管线，均由空心的所述转动轴的内腔引入。