[发明专利]掩膜组件及丝网印刷设备

权利要求书

1.一种掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件包括：掩膜版和用于固定所述掩膜版的框架，所述掩膜版上设置有温度调节件，所述温度调节件用于调节所述掩膜版的温度，以对所述掩膜版的张力进行调节；

所述温度调节件包括至少一个加热条，所述至少一个加热条中的每个加热条用于通过对所述掩膜版加热，来调节所述掩膜版的温度。

2.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜版具有张力调节区域，所述温度调节件设置在所述张力调节区域中。

3.根据权利要求2所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜版还具有印刷图形区域，所述张力调节区域位于所述印刷图形区域的周围。

4.根据权利要求3所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜版的版面和所述印刷图形区域均为矩形结构，所述张力调节区域为环形结构，且所述张力调节区域的内环和外环都呈矩形，所述张力调节区域的内环的结构与所述印刷图形区域的结构全等。

5.根据权利要求4所述的掩膜组件，其特征在于，所述温度调节件位于所述印刷图形区域的四周。

6.根据权利要求3至5任一所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜版包括丝网层和设置在所述丝网层上的胶膜层，所述胶膜层包括胶膜图形区域，所述胶膜图形区域与所述丝网层的重叠区域为所述印刷图形区域。

7.一种丝网印刷设备，其特征在于，所述丝网印刷设备包括印刷机台、刮刀和权利要求1至6任一所述的掩膜组件。

8.根据权利要求7所述的丝网印刷设备，其特征在于，所述丝网印刷设备还包括：张力测量组件和控制组件，所述张力测量组件和所述掩膜组件的温度调节件分别与所述控制组件电连接，

所述张力测量组件用于测量所述掩膜版的张力；

所述控制组件用于根据所述张力测量组件测量的张力，控制所述温度调节件调节所述掩膜版的温度，以对所述掩膜版的张力进行调节。

9.根据权利要求8所述的丝网印刷设备，其特征在于，所述温度调节件的每个加热条与所述控制组件电连接，

所述张力测量组件用于测量所述掩膜版的各个位置点的张力；

所述控制组件用于根据所述各个位置点的张力，确定待调节张力的位置点，并控制所述待调节张力的位置点周围的加热条对所述掩膜版加热。