[发明专利]一种用于正多边形晶片研磨的游星轮

权利要求书

1.一种用于正多边形晶片研磨的游星轮，其特征在于，包括：同心设置的基体齿盘（1）和旋环（2），所述基体齿盘（1）外圈设置有齿，所述基体齿盘（1）内部圆周均布有若干正多边形孔（11），所述正多边形孔（11）的每个顶角处均设置有夹杆（12），所述夹杆（12）上设置有滑槽（121），所述滑槽（121）内设置有扣柱（13），相邻顶角上的所述夹杆（12）通过所述滑槽（121）与所述扣柱（13）相互连接，所述扣柱（13）的数量与所述夹杆（12）数量相同，均等于所述正多边形的边数，相邻所述扣柱（13）之间设置有拉紧弹簧（14），所述旋环（2）通过连杆（21）与一个所述扣柱（13）相连，所述旋环（2）插扣于所述基体齿盘（1）的中心。

2.根据权利要求1所述的一种用于正多边形晶片研磨的游星轮，其特征在于，相邻所述扣柱（13）之间的所述拉紧弹簧（14）的长度与弹性系数均相等。

3.根据权利要求1所述的一种用于正多边形晶片研磨的游星轮，其特征在于，所述夹杆（12）包括，滑槽（121）、铰接头（122）和活动头（123），所述铰接头（122）铰接固定在所述正多边形孔（11）外，所述活动头（123）以所述铰接头（122）为圆心转动。

4.根据权利要求1所述的一种用于正多边形晶片研磨的游星轮，其特征在于，所述扣柱（13）包括，上顶帽（131）、下顶帽（133）和连接柱（132），所述连接柱（132）设置在所述滑槽（121）内，所述上顶帽（131）与所述下顶帽（133）分别设置在相邻所述夹杆（12）的上下两侧。

5.根据权利要求3所述的一种用于正多边形晶片研磨的游星轮，其特征在于，所述活动头（123）处设置有导杆（124），所述正多边形孔（11）外设置有圆环槽（15）。

6.根据权利要求5所述的一种用于正多边形晶片研磨的游星轮，其特征在于，所述圆环槽（15）与所述夹杆（12）一一对应。

7.根据权利要求1所述的一种用于正多边形晶片研磨的游星轮，其特征在于，所述连杆（21）两端分别与所述扣柱（13）与所述旋环（2）相铰接。

8.根据权利要求2所述的一种用于正多边形晶片研磨的游星轮，其特征在于，所述正多边形孔（11）为正三角形孔，所述夹杆（12）、所述扣柱（13）以及所述拉紧弹簧（14）的数量为三个。