[发明专利]包括体声波谐振器的滤波器及其制造方法

说明书

本发明提供一种包括体声波谐振器的滤波器及其制造方法。所述滤波器包括：多层结构，具有被构造为体声波谐振器的膜；布线，连接到所述体声波谐振器；以及盖，在结合线上结合到所述多层结构，并且通过所述布线和所述结合线之间的互感来构造所述滤波器的滤波特性。

本申请要求于2016年10月31日在韩国知识产权局提交的第10-2016-0143690号以及于2017年3月27日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0038523号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。

技术领域

以下描述涉及一种包括体声波谐振器的滤波器及其制造方法。

背景技术

近来，由于移动通信装置、化学和生物装置等的飞速发展，对在这样的装置中使用的小且轻的滤波器、振荡器、谐振元件、声谐振质量传感器等的需求也已经增加。

作为实现这样小且轻的滤波器、振荡器、谐振元件以及声谐振质量传感器的装置，使用膜体声波谐振器(在下文中，称为“FBAR”)。FBAR可以以最小的成本大批量生产，并可实现为具有超小型尺寸。此外，FBAR可实现作为滤波器的主要特性的高品质因子(Q)值，甚至可被使用在微波频带以及个人通信系统(PCS)和数字无线系统(DCS)的其他频带中。

通常，FBAR包括通过在基板上依次堆叠第一电极、压电层和第二电极而实现的谐振部。

将在下文中描述FBAR的操作原理。首先，当将电能施加到第一电极和第二电极以在压电层中诱发电场时，电场在压电层中产生压电现象，以使谐振部在预定方向上振动。结果，在与谐振部振动的方向相同的方向上产生体声波，从而导致谐振。

发明内容

提供本发明内容以按照简化形式介绍选择的构思，以下在具体实施方式中进一步描述所述构思。本发明内容并不意在确定所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不意在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

在一个总体方面，一种滤波器包括：多层结构，具有被构造为体声波谐振器的膜；布线，连接到所述体声波谐振器；以及盖，在结合线上结合到所述多层结构，并且通过所述布线和所述结合线之间的互感来构造所述滤波器的滤波特性。

所述体声波谐振器可包括串联谐振器和分路谐振器。

所述滤波特性可通过连接到所述分路谐振器的布线的电感与所述结合线的电感之间的所述互感来确定。

所述互感可提供连接到所述分路谐振器的电感器。

所述布线的电感可基于所述布线的长度和面积来确定。

所述结合线的电感可基于位于离所述布线预定距离处的所述结合线的长度和面积来确定。

所述互感可基于所述布线的电感、所述结合线的电感以及所述布线的所述电感和所述结合线的所述电感之间的耦合系数来确定。

所述耦合系数可基于所述布线和所述结合线之间的距离来确定。

确定频带的极点的位置可基于所述布线和所述结合线之间的所述距离而改变。

确定所述频带的左极点的增益和频率可随着所述布线和所述结合线之间的所述距离减小而减小。

在另一总体方面，一种滤波器包括：串联谐振器，设置在信号输入端子和信号输出端子之间；分路谐振器，设置在所述串联谐振器中的每个和地之间；以及电感器，设置在所述分路谐振器中的一个和所述地之间。所述电感器基于由盖形成的结合线与连接到所述分路谐振器中的一个的布线之间的互感来构造，所述盖中容纳有所述串联谐振器和所述分路谐振器。

所述互感可基于所述布线的电感、所述结合线的电感以及所述布线的所述电感和所述结合线的所述电感之间的耦合系数来确定。