[发明专利]包括体声波谐振器的滤波器及其制造方法

权利要求书

1.一种滤波器，包括：

多层结构，包括被构造为体声波谐振器的膜；

布线，连接到所述体声波谐振器；以及

盖，在结合线上结合到所述多层结构，

其中，通过所述布线和所述结合线之间的互感来构造所述滤波器的滤波特性，

其中，所述滤波器的确定频带的极点的位置通过所述布线和所述结合线之间的所述互感而改变。

2.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述体声波谐振器包括串联谐振器和分路谐振器。

3.根据权利要求2所述的滤波器，其中，所述滤波特性通过连接到所述分路谐振器的布线的电感与所述结合线的电感之间的所述互感来确定。

4.根据权利要求3所述的滤波器，其中，所述互感提供连接到所述分路谐振器的电感器。

5.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述布线的电感基于所述布线的长度和面积来确定。

6.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述结合线的电感基于位于离所述布线预定距离处的所述结合线的长度和面积来确定。

7.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述互感基于所述布线的电感、所述结合线的电感以及所述布线的所述电感和所述结合线的所述电感之间的耦合系数来确定。

8.根据权利要求7所述的滤波器，其中，所述耦合系数基于所述布线和所述结合线之间的距离来确定。

9.根据权利要求8所述的滤波器，其中，确定频带的极点的位置基于所述布线和所述结合线之间的所述距离而改变。

10.根据权利要求9所述的滤波器，其中，确定所述频带的左极点的增益和频率随着所述布线和所述结合线之间的所述距离减小而减小。

11.一种滤波器，包括：

串联谐振器，设置在信号输入端子和信号输出端子之间；

分路谐振器，设置在所述串联谐振器中的每个和地之间；以及

电感器，设置在所述分路谐振器中的一个和所述地之间，

其中，所述电感器通过由盖形成的结合线与连接到所述分路谐振器中的一个的布线之间的互感来构造，所述盖中容纳有所述串联谐振器和所述分路谐振器，

其中，所述滤波器的确定频带的极点的位置通过所述互感而改变。

12.根据权利要求11所述的滤波器，其中，所述互感基于所述布线的电感、所述结合线的电感以及所述布线的所述电感和所述结合线的所述电感之间的耦合系数来确定。

13.根据权利要求12所述的滤波器，其中，所述耦合系数基于所述布线和所述结合线之间的距离来确定。

14.根据权利要求13所述的滤波器，其中，确定频带的极点的位置根据所述布线和所述结合线之间的所述距离而改变。

15.根据权利要求14所述的滤波器，其中，确定所述频带的左极点的增益和频率随着所述布线和所述结合线之间的所述距离减小而减小。

16.一种用于制造滤波器的方法，包括：

形成包括被构造为体声波谐振器的膜的多层结构；

形成连接到所述体声波谐振器的布线；

在结合线上形成结合到所述多层结构的盖；以及

基于所述布线和所述结合线之间的互感确定并形成所述滤波器的滤波特性，

其中，所述滤波器的确定频带的极点的位置通过所述布线和所述结合线之间的所述互感而改变。

17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述体声波谐振器包括串联谐振器和分路谐振器。