[发明专利]托盘夹具的加工方法

权利要求书

1.一种托盘夹具的加工方法，所述托盘夹具包括至少两个层板，其特征在于，包括以下步骤：

(a)对各个所述层板分别进行孔加工，使所述层板上形成多个容纳孔；

(b)将所有所述层板进行堆叠，使相邻的两个所述层板间的容纳孔连通，所有层板堆叠后形成初始托盘；

(c)向初始托盘的容纳孔中压入耐高温粉末；

(d)对初始托盘进行真空扩散焊接；

(f)取出容纳孔中的耐高温粉末。

2.根据权利要求1所述的托盘夹具的加工方法，其特征在于，所述耐高温粉末为石墨粉末或陶瓷粉末。

3.根据权利要求1所述的托盘夹具的加工方法，其特征在于，还包括步骤(g)，在所述初始托盘的上下表面涂阻焊层；

在步骤(c)或步骤(d)前进行步骤(g)。

4.根据权利要求3所述的托盘夹具的加工方法，其特征在于，所述阻焊层的厚度为5μm～15μm。

5.根据权利要求3所述的托盘夹具的加工方法，其特征在于，对初始托盘的上下表面涂阻焊层后，低温烘干，烘干温度不超过150摄氏度。

6.根据权利要求3所述的托盘夹具的加工方法，其特征在于，还包括步骤(h)，取出容纳孔中的耐高温粉末后，对所述初始托盘进行表面抛光。

7.根据权利要求1所述的托盘夹具的加工方法，其特征在于，在步骤(c)中，初始托盘放入冷压模具中，倒入耐高温粉末进行初压，冷压模具卸压后继续倒入耐高温粉末再次加压。

8.根据权利要求1所述的托盘夹具的加工方法，其特征在于，步骤(a)中，对层板的孔加工采用化学蚀刻或电解蚀刻加工。

9.根据权利要求1所述的托盘夹具的加工方法，其特征在于，在步骤(b)中，将所有所述层板进行堆叠后，通过点焊的方式将各个所述层板进行定位固定。

10.根据权利要求1所述的托盘夹具的加工方法，其特征在于，所述容纳孔矩形阵列分布于所述层板。