[发明专利]一种气体传感和UV光探测集成系统

说明书

本发明公开了一种气体传感和UV光探测集成系统，其特征在于，主要包括以下模块：真空腔、温度测量及控制系统、电极测试系统、气体控制系统、UV光控制系统、湿度控制系统和半导体气体传感器。本发明能够提供多种环境变量，使得研究复杂环境下传感器的传感特性成为可能，更全面的提高了传感器的性能。本发明结合气体传感特性测试和UV光探测器测试于一体，节省成本、实用性强。尤其是在高湿环境中，高校本科生可以利用本发明进行气体、UV光和湿度传感特性的测试。

技术领域

本发明涉及集成探测领域，具体是一种气体传感和UV光探测集成系统。

背景技术

近几年，各大媒体频繁报道出突发性毒气泄漏事件。因此，人们对突发性毒气泄漏给予了越来越多的关注。空气污染的加剧、安全事故的频发、食品质量的恶化等因素都与各种毒害气体有着莫大的关联。

UV光即紫外线，紫外线的波长范围在100～400nm，是一种介于X射线与可见光间的电磁波。但是，紫外线在杀菌的同时，也会对人体细胞造成破坏。强紫外线的照射甚至会导致皮肤表皮坏死、白内障患者增加、免疫系统破坏、皮肤癌等。

同时，重庆特殊的地理条件使其常年处于高湿区。因此，湿度检测在食品行业、档案管理、温室大棚、动物养殖、药品储存、烟草行业、工控行业等行业都至关重要。

由此可见，对于空气中的毒害气体、UV光及湿度的检测正成为现代工业和生活中必不可少的一环。

在进行检测时，一般使用的是传感器。传感器能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息转换为对应的电信号，再根据这些电信号的强弱来获得和测试环境中毒害气体、UV光和湿度的相关信息。根据基本感知功能，一般可以把传感器分为光敏元件、气敏元件、湿敏元件、热敏元件和力敏元件等。在研制传感器的过程中，测试传感器件的性能至关重要。

但是，目前来说，重庆的高校和科研机构还没有为本科生提供能够在重庆特殊的地理环境下进行传感器性能检测实验的集成设备。

发明内容

本发明的目的是解决现有技术中存在的问题。

为实现本发明目的而采用的技术方案是这样的，一种气体传感和UV光探测集成系统，主要包括以下模块：真空腔、温度测量及控制系统、电极测试系统、气体控制系统、UV光控制系统、湿度控制系统和半导体气体传感器。

所述真空腔主要包括腔体和盖板。

所述真空腔左侧的上半部分具有开口I。

所述真空腔右侧上半部分具有入气口。所述真空腔右侧下半部分具有出气口。

所述腔体内部安装有所述温度测量及控制系统、所述电极测试系统、所述气体控制系统、所述UV光控制系统、所述湿度控制系统和所述半导体气体传感器。

所述盖板对所述腔体进行密封。所述盖板可拆卸。

所述盖板具有供湿度计穿过的通孔I。

进一步，所述盖板四周具有密封胶垫。所述真空腔底部具有减震胶垫。

所述温度测量及控制系统主要包括加热器和热电偶。

所述加热器对所述半导体气体传感器进行加热。

进一步，所述温度测量及控制系统还包括硅片。所述硅片叠放在所述加热器上面。所述硅片用于保持所述半导体气体传感器和所述加热器的距离。

所述热电偶测量所述半导体气体传感器的温度。所述热电偶控制所述半导体气体传感器的温度。

进一步，所述半导体气体传感器的厚度＜1μm。所述半导体气体传感器的灵敏度＞80％。所述半导体气体传感器的响应时间＜10s。所述半导体气体传感器的适用温度范围0～200℃。所述半导体气体传感器的阻值决定所述电阻的阻值。