[发明专利]一种安全性更好的硅棒生产用真空炉

说明书

技术领域

本发明涉及真空炉技术领域，具体为一种安全性更好的硅棒生产用真空炉。

背景技术

真空炉，即在炉腔这一特定空间内利用真空系统将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态，这就是真空炉。

随着工业生产技术的不断发展，真空炉在工业生产中的应用越来越成熟，在硅棒生产过程中，需要使用真空炉对硅棒进行加工，但是现有的硅棒生产用真空炉在使用时存在着真空炉的热量容易散失；在工件加工后无法对炉内进行快速的散热；炉内压强过大容易产生危险的缺点。针对上述问题，急需在原有真空炉的基础上进行创新设计。

发明内容

本发明的目的在于提供一种安全性更好的硅棒生产用真空炉，以解决上述背景技术中提出真空炉的热量容易散失；在工件加工后无法对炉内进行快速的散热；炉内压强过大容易产生危险的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种安全性更好的硅棒生产用真空炉，包括隔温套筒、水冷管、泄压口和出压口，所述隔温套筒安装在真空炉本体上，且隔温套筒的内部设置有真空层，所述水冷管通过固定件和真空炉本体相互连接，且水冷管的两端均和通水管相互连接，所述泄压口设置在真空炉本体的右侧，且泄压口和固定底座相互连接，所述固定底座的左端设置有进压口，且固定底座的内侧设置有阀门块，所述阀门块的右侧通过连接横杆和固定套筒相互连接，且固定套筒的内部固定有弹性组件，所述连接横杆的外侧安装有支撑筒，所述出压口安装在固定底座上。

优选的，所述隔温套筒和真空炉本体为一体化结构。

优选的，所述固定件和真空炉本体呈90°夹角分布，且固定件和真空炉本体为焊接。

优选的，所述水冷管共设置有2个，且2个水冷管为平行分布。

优选的，所述连接横杆和固定套筒组成伸缩机构，且连接横杆和阀门块为热粘接，同时阀门块为橡胶材料。

优选的，所述支撑筒和固定底座为密封连接，且固定底座和泄压口为螺纹连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该安全性更好的硅棒生产用真空炉，使用隔温套筒配合其内部真空层的使用，能有效的对真空炉本体内的热量进行保护，防止了热量的流失，更加节能环保，使用固定件可对水冷管进行稳固的固定，而水冷管的使用则能对真空炉进行快速的降温，使用更加安全，使用可伸缩的连接横杆来对阀门块的位置进行控制，便于对真空炉进行泄压，防止压强过高而发生危险，将固定底座和泄压口设计为螺纹连接，使固定底座的拆卸安装更加方便，便于对固定底座等零部件的维修更换。

附图说明

图1为本发明外部结构示意图；

图2为本发明正视剖面结构示意图；

图3为本发明A处放大结构示意图。

图中：1、真空炉本体，2、隔温套筒，3、真空层，4、固定件，5、水冷管，6、通水管，7、泄压口，8、固定底座，9、进压口，10、阀门块，11、连接横杆，12、固定套筒，13、弹性组件，14、支撑筒，15、出压口。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。