[发明专利]用于凸非球面反射镜检测的光路对准方法

权利要求书

1.一种用于凸非球面反射镜检测的光路对准方法，其特征在于，包括以下步骤：

将刻度标记装置贴合汉德尔球的后端面固定，且使所述刻度标记装置的刻度中心与所述汉德尔球的中心孔的中心重合；

调节所述汉德尔球的轴向位置，使干涉仪的最小出射光斑与所述刻度中心重合；

拆除所述刻度标记装置后，将拼接量块固定于所述汉德尔球的后端面，且所述拼接量块的厚度等于所述干涉仪的球面标准镜的焦点至所述汉德尔球的后端面的距离；

调节所述汉德尔球的轴向位置和倾斜角度，直至在所述干涉仪中观察到所述球面标准镜的猫眼像，并在观察到所述猫眼像后拆除所述拼接量块，完成所述干涉仪与所述汉德尔球之间的光路对准；

将待检凸非球面反射镜放置在所述干涉仪的出射光中心位置，并调节待检凸非球面反射镜的轴向位置，使所述干涉仪的出射光焦点与所述干涉仪的出射光经过所述待检凸非球面反射镜和所述汉德尔球反射后形成的反射焦点相重合；

调节所述待检凸非球面反射镜的轴向位置和倾斜角度，直至所述干涉仪采集到的表面干涉图的有效区域对应的泽尼克多项式系数Z3、系数Z6和系数Z7达到最小值，其中系数Z3对应于离焦像差，系数Z6和系数Z7均对应于彗差像差；

对所述系数Z3、所述系数Z6和所述系数Z7达到最小值时的所述表面干涉图进行数据处理，判断经过数据处理后的所述表面干涉图的外圆数据中心和内孔数据中心是否重合，若重合，则完成所述汉德尔球和所述待检凸非球面反射镜之间的光路对准。

2.根据权利要求1所述的用于凸非球面反射镜检测的光路对准方法，其特征在于，还包括以下步骤：

若经过数据处理后的所述表面干涉图的外圆数据中心和内孔数据中心不重合，则重新调节所述待检凸非球面反射镜的轴向位置和倾斜角度，直至经过数据处理后的所述表面干涉图的外圆数据中心和内孔数据中心重合。

3.根据权利要求1或2所述的用于凸非球面反射镜检测的光路对准方法，其特征在于，

所述刻度标记装置为带有刻度的圆片。

4.根据权利要求1或2所述的用于凸非球面反射镜检测的光路对准方法，其特征在于，

所述刻度标记装置为端面带有刻度的圆柱块，且所述端面的刻度中心与所述端面的几何中心重合，所述圆柱块嵌入在所述汉德尔球的中心孔内。

5.根据权利要求1或2所述的用于凸非球面反射镜检测的光路对准方法，其特征在于，

所述刻度标记装置为T形圆柱块，所述T形圆柱块包括一侧带有刻度的圆片和与所述圆片的另一侧固定的圆柱，且所述圆柱的轴线通过所述圆片的刻度中心，所述圆柱嵌入在所述汉德尔球的中心孔内，所述圆片与所述汉德尓球的后端面紧密贴合。

6.根据权利要求1或2所述的用于凸非球面反射镜检测的光路对准方法，其特征在于，

所述拼接量块的拼接精度为10微米。