[发明专利]镀膜设备

说明书

一种镀膜设备，包含磁性装置以及磁阻装置。磁性装置包含多个磁力元件。此些磁力元件形成至少一第一磁力区与至少一第二磁力区，且第一磁力区的磁力小于第二磁力区的磁力。磁阻装置位于磁性装置与待镀物之间。磁阻装置包含至少一第一磁阻部与至少一第二磁阻部。第一磁阻部对应于第一磁力区，且第二磁阻部对应于第二磁力区。第一磁组部的磁阻能力小于第二磁阻部的磁阻能力。

技术领域

本发明涉及镀膜技术，特别涉及一种镀膜设备。

背景技术

随着多媒体技术与信息的蓬勃发展，可用以显示信息并作为人机沟通界面的显示器的发展便显得格外重要。近年来，环保意识逐渐抬头。在诸多显示器中，尤以有机发光二极管(OLED)显示器因其自发光特性而无须设置额外背光源的特性而备受重视。此外，有机发光二极管显示器更具有广视角、高对比、制程简单、低操作电压、高反应速率以及全彩化等优点，而赋有广阔的应用前景。因此，有机发光二极管显示器有望可成为显示器的主流。

一般而言，有机发光二极管显示器的发光结构是藉由在阳极与阴极的一对电极之间夹设多层有机材料层所组成。有机发光二极管显示器的发光机制是利用施加电压于电极时，电洞与电子会分别从阳极与阴极流出并注入到有机材料层中，并通过电洞与电子的再结合的能量来激发有机材料的分子放出光子而发光。

现有有机发光二极管显示器可采用蒸镀方式将有机材料镀于基板上以形成所需的层膜，且有机发光二极管显示器中各像素是藉由所使用的掩膜板的开口来定义。因此，掩膜板与基板贴合的紧密程度会影响到各像素位置精确度，甚至会造成后续成品之后的亮度不均或混色等问题。为了使掩膜板可紧密贴合于基板，在传统作法上会在基板上方设置磁力装置，以通过磁力装置的磁力，来吸引位于基板下方的掩膜板，而使得掩膜板可贴附于基板。

发明内容

在传统的镀膜设备中，磁力装置的磁力元件的配置布局已为固定而不能随意改变。然而，此些磁力元件所生成的磁场并非是一个均匀的磁场。即便想变动磁力装置对掩膜板的吸附强度时，亦仅能藉由调整磁力装置于垂直方向与掩膜板之间的相对距离，来变动磁力装置对掩膜板的吸附强度。此外，发明人于镀膜过程中更发现，即便肉眼可见磁力装置已将掩膜板紧密吸附于基板下方，但由于基板本身受到重力作用所产生的弯曲，使得掩膜板并非是完全紧密贴合于基板，并且掩膜板在某些部分与基板之间实际上是存有间隙(Gap)，进而使得后续镀于基板上的某些膜块的宽度及/或长度会因所受到的磁力并不均匀而偏离期望值。

有鉴于此，本发明的一实施例提出一种镀膜设备。在一实施例中，一种镀膜设备包含磁性装置与磁阻装置。磁性装置包含多个磁力元件。此些磁力元件形成至少一第一磁力区与至少一第二磁力区，且第一磁力区的磁力小于第二磁力区的磁力。磁阻装置包含至少一第一磁阻部与至少一第二磁阻部。第一磁阻部对应于第一磁力区，且第二磁阻部对应于第二磁力区。第一磁阻部的磁阻能力小于第二磁阻部的磁阻能力。

综上所述，本发明的一实施例的镀膜设备，其通过具有不同磁阻能力的磁阻部来均匀化磁性装置对于掩膜板的磁力分布，使得掩膜板可更贴合于待镀物，进而改善镀膜品质。

以下在实施方式中详细叙述本发明的详细特征及优点，其内容足以使任何熟习相关技艺者了解本发明的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、申请专利范围及图式，任何熟习相关技艺者可轻易地理解本发明相关的目的及优点。

附图说明

图1为镀膜设备的一实施例的概要示意图；

图2为图1中磁性装置的第一实施例的概要示意图；

图3为图1中磁性装置的第二实施例的概要示意图；

图4为图2中磁性装置的局部透视图；

图5为图1中磁阻装置的第一实施例的概要示意图；

图6为图1中磁阻装置的第二实施例的概要示意图；