[发明专利]一种硅棒生产用几何尺寸测量装置

说明书

本发明公开了一种硅棒生产用几何尺寸测量装置，包括数控箱、金相显微镜、测控装置和集成检测箱，数控箱的顶端嵌入设置有第一显示器，第一显示器的侧面连接有操作按钮，数控箱的前上端设置有第二显示器，该种硅棒生产用含量测试仪，集成检测箱包括激光反馈外形检测、温度与电阻检测和红外线超声波混合三维立体形态成像，将硅棒检测的多步骤进行集合，减少繁杂操作的同时提高整体的检测精度，设有第二显示器，直接连通集成检测器，并将集成检测器检测的各项参数组合解析后，形成三维图像显示出来，通过与第一显示器显示的平面图进行参照，方便检测人员进行调整，使其能够精准的测量出硅棒的各项参数，提高装置的实用性。

技术领域

本发明涉及硅棒测试仪技术领域，具体为一种硅棒生产用几何尺寸测量装置。

背景技术

测试仪主要以电子设备，测量仪器及电子应用仪器，是指利用电子技术进行测量，观察电量或非电量的仪器、设备和系统，或为了测量目的而供给的光、电量以及测量附件，测量包括数据采集、存储、显示、打印、绘图、加工和传输等，属信息产品。

但现有的硅棒生产用几何尺寸测量装置功能比较单一，只具有测量几何尺寸的功能，一般没有设置金相显微镜，无法检测出结构、质量等性能。

所以，如何设计一种硅棒生产用几何尺寸测量装置，成为我们当前要解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅棒生产用几何尺寸测量装置，以解决上述背景技术中提出的含量问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种硅棒生产用几何尺寸测量装置，包括数控箱、金相显微镜、测控装置和集成检测箱，所述数控箱的顶端嵌入设置有第一显示器，所述第一显示器的侧面连接有操作按钮，所述数控箱的前上端设置有第二显示器，所述数控箱的右侧贯穿连接有图像传输线，所述图像传输线的另一端连接有集成检测箱，所述集成检测箱的正面设置于测控装置，所述集成检测箱的右侧套接有工具箱，所述集成检测箱的顶端焊接有顶板，所述顶板的中部嵌入设置有显像观察板，所述顶板的四个角均固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶端连接有观察板，所述观察板的左侧通过支撑柱连接有显微镜旋轴，所述显微镜旋轴的末端套接有金相显微镜，所述测控装置的内部贯穿设置有传输通道，所述测控装置的正面设置有隔离板，所述隔离板的底部连接有硅棒列位板，所述硅棒列位板的两端嵌入设置有数据输出端口。

进一步的，所述第一显示器相对于数控箱可折叠，且所述第一显示器与金相显微镜信号连接。

进一步的，所述硅棒列位板设置有6列，且两端数据输出端口均为可拆卸结构。

进一步的，所述观察板为采用钢化玻璃制作的高透玻璃。

进一步的，所述工具箱分为三格，且相对于集成检测箱可折叠。

进一步的，所述集成检测箱包括激光反馈外形检测、温度与电阻检测和红外线超声波混合三维立体形态成像。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该种硅棒生产用含量测试仪，设有第一显示器，且第一显示器与金相显微镜信号连接，将金相显微镜直接合并到装置中，减少了检测的操作步骤，且设置有显微镜旋轴，可以多角度的对硅棒的结构和质量等性质进行直接观测，设有集成检测箱，且集成检测箱包括激光反馈外形检测、温度与电阻检测和红外线超声波混合三维立体形态成像，将硅棒几何尺寸等性能检测的多步骤进行集合，减少繁杂操作的同时提高整体的检测精度，设有第二显示器，直接连通集成检测箱，并将集成检测箱检测的各项参数组合解析后，形成三维图像显示出来，通过与第一显示器显示的平面图进行参照，方便检测人员进行调整，使其能够精准的测量出硅棒的各项参数，提高装置的实用性。

附图说明

图1是本发明的整体结构示意图；

图2是本发明的测控装置局部结构示意图；

图3是本发明的集成检测箱局部结构示意图。