[发明专利]一种真空泵

说明书

本发明公开一种真空泵，轴承腔、齿轮腔设置在罗茨腔体的两侧，电机腔与轴承腔连接，所述轴承腔与罗茨腔体间及罗茨腔体与齿轮腔间均设置轴封装置；所述轴封装置设置在主动转子轴和从动转子轴上；所述电机为转子轴屏蔽变频电机；所述轴承腔、齿轮腔均设置润滑装置；所述两端轴承腔内设置油气分离装置；本发明体积小，抽速大，节约能源和空间；变频调速，使用寿命长；采用特氟龙类双唇轴封，延长了泵的维修周期；采用油气分离装置，解决向油蒸汽向真空室的泄漏问题；采用电机转子和泵轴一体，电机定子在油室外的结构，解决了电机动密封和电机震动问题；齿轮的装配采用热胀装配结构，减少了运动部的不平衡度和振动。

技术领域

本发明涉及一种真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨真空泵。

背景技术

罗茨真空泵由罗茨鼓风机演变而来，包括高真空多级罗茨泵、中真空罗茨增压泵和直排大气的干式罗茨泵，广泛用于化工、造纸、冶金、薄膜制备、食品等行业，也是IC装备行业中常用的一种真空泵。国内罗茨真空泵的研究和制造较早，但适合于IC装备行业严格要求的罗茨干泵并不多见，致使该设备长期依赖进口。

气冷式罗茨干泵满足了IC装备行业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求，是很有发展前景的一种干式低真空泵。目前，除加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入大等制约因素外，设计理论亟待提高，尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析等。

发明内容

为了克服现有罗茨泵技术中极限真空低、消耗功率大、体积大、不能用于IC装备的不足，本发明提供一种罗茨真空泵，适用于IC装备的新型的罗茨干泵。为了实现上述目的，本发明结构设计是这样实现的：

一种真空泵，包括电机腔、轴承腔、罗茨腔体、齿轮腔、电机、主动转子轴、从动转子轴、从动齿轮、主动齿轮、主、从动罗茨转子，其特征在于：所述轴承腔、齿轮腔设置在罗茨腔体的两侧，电机腔与轴承腔连接，所述轴承腔与罗茨腔体间及罗茨腔体与齿轮腔间均设置轴封装置；所述轴封装置设置在主动转子轴和从动转子轴上；所述电机为转子轴屏蔽变频电机；所述轴承腔、齿轮腔均设置润滑装置；所述两端轴承腔内设置油气分离装置；所述主动转子轴、从动转子轴由固定装置安装在轴承腔和齿轮腔间，主动转子轴电机侧为固定端；所述轴封装置包括轴封环、双唇轴封，所述轴封环、双唇轴封依次套装在主动转子轴和从动转子轴上。

所述润滑装置为设置在轴承腔的主动转子轴上的主动甩油盘、从动转子轴上的电机侧从动甩油盘及设置在齿轮腔内从动转子轴上的齿轮侧从动甩油盘。

所述固定装置包括轴端固定螺母、电机侧轴承压盖、轴承、轴承支撑环。

所述主从动罗茨转子形线相同由两段圆弧组成。

所述电机腔、齿轮腔与罗茨腔体有孔连通。

本发明具有如下优点：

该泵以往罗茨泵相比具有体积小，抽速大，节约能源和空间，在抽速相同的情况下减小了泵的体积，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，也可以和多级真空泵组成干泵机组；变频调速，柔性启动，整机冲击小，使用寿命长。且整机过载保护，具有故障自动保护，不会出现破坏性损坏；采用新型的特殊特氟龙类双唇轴封，增加了耐磨性，减少了摩擦系数，延长了泵的维修周期；并采用油气分离装置，将装油腔与泵腔通过气孔连通的空气过滤，使装油腔和干泵腔体压力平衡，达到平衡压力密封，解决向油蒸汽向真空室的泄漏问题；采用电机转子和泵轴一体，电机定子在油室外的结构，解决了电机动密封和电机震动问题；齿轮的装配采用热胀装配结构，减少了运动部的不平衡度和振动；在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。

附图说明

图1为罗茨真空泵图；

图2为图1B-B剖面图；

图3为立体图；