[发明专利]Lamb波传感器、生物检测芯片和快速筛查系统

权利要求书

1.一种Lamb波传感器，其特征在于，包括

衬底层(131)，所述衬底层的一侧面上开设至少一个单向开口的检测腔(1312)，所述检测腔(1312)顶部的所述衬底层形成谐振薄膜(1311)；

地电极层(132)，设置于所述衬底层(131)的远离所述检测腔(1312)的一侧面上；

压电薄膜(133)，设置于所述地电极层(132)的远离所述衬底层(131)的一侧面上；

至少一对第一微电极(134)，设置于所述压电薄膜(133)远离所述地电极层(132)的一侧面上，用于检测压电信号；

至少一对第二微电极(135)，所述第二微电极(135)的表面修饰抗体，用于检测阻抗信号；所述第二微电极(135)设置于所述谐振薄膜(1311)下表面，或者由所述第一微电极(134)经抗体修饰后形成。

2.根据权利要求1所述的Lamb波传感器，其特征在于，所述第一微电极(134)和/或所述第二微电极(135)是由金属材料制成的叉指电极、微柱电极或微盘电极。

3.根据权利要求1或2所述的Lamb波传感器，其特征在于，所述第二微电极(135)的电极引脚依次穿过所述谐振薄膜(1311)、所述地电极层(132)和所述压电薄膜(133)，并在所述压电薄膜(133)远离所述地电极层(132)的一侧面上形成所述第二微电极(135)的电极接触点。

4.根据权利要求1-3任一项所述的Lamb波传感器，其特征在于，所述谐振薄膜(1311)的厚度≤20μm。

5.一种生物检测芯片，其特征在于，所述生物检测芯片包括

基座(14)，其上开设有凹槽；

权利要求1-4任一项所述的Lamb波传感器(13)，设置于所述凹槽内，与所述基座(14)通过连接件(15)形成电连接；

盖板(11)，覆盖所述基座(14)，所述盖板(11)内设置有位于所述检测腔(1312)两侧的进样孔(1122)和出样孔，所述Lamb波传感器(13)上设置所述第二微电极(135)的一侧朝向所述盖板(11)。

6.根据权利要求5所述的一种生物检测芯片，其特征在于，所述Lamb波传感器(13)具有至少两个所述检测腔(1312)，每个所述检测腔(1312)对应至少一对所述第二微电极(135)；

其中，对应同一所述检测腔(1312)的所述第二微电极(135)表面修饰结合相同抗原的抗体，且与其他所述检测腔(1312)对应的所述第二微电极(135)结合不同抗原。

7.根据权利要求6所述的生物检测芯片，其特征在于，所述盖板(11)包括盖板封闭层(111)和盖板通道层(112)，所述盖板(11)封闭层位于所述盖板通道层(111)的上方，所述盖板通道层(112)内开设有与所述检测腔(1312)对应的至少两条流体通道(1121)，所述流体通道包括流入段和流出段；

所述流体通道(1121)的两端别连接同一进样孔(1122)；其中，每条所述流体通道(1121)的长度相等，流体由所述进样孔(1122)流入后等量且等速度流经每条所述流体通道(1121)。

8.根据权利要求5-7任一项所述的生物检测芯片，其特征在于，所述连接件(15)为弹性探针，所述弹性探针的一端连接位于所述基座(14)内的检测电路；

所述第二微电极(135)位于所述检测腔(1312)内，所述弹性探针的另一端连接所述Lamb波传感器(13)上的所述地电极层(132)、所述第一微电极(134)和所述第二微电极(135)的电极接触点；或者

所述第二微电极(135)由所述第一微电极(134)经抗体修饰后形成，所述弹性探针的所述另一端连接所述Lamb波传感器(13)上的所述地电极层(132)和所述第二微电极(135)。

9.根据权利要求5-8任一项所述的生物检测芯片，其特征在于，所述生物检测芯片还包括设置于所述盖板(11)和所述Lamb波传感器(13)之间且覆盖所述基座(14)的密封件(12)；所述密封件(12)具有与所述检测腔(1312)对应开设的检测口(121)。

10.一种快速筛查系统，其特征在于，所述快速筛查系统包括权利要求5-9任一项所述的生物检测芯片。