[发明专利]绝缘栅双极晶体管、IPM模块以及空调器在审
申请号: | 201710872869.9 | 申请日: | 2017-09-22 |
公开(公告)号: | CN107591443A | 公开(公告)日: | 2018-01-16 |
发明(设计)人: | 冯宇翔;甘弟 | 申请(专利权)人: | 广东美的制冷设备有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/08 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 528311 广东省佛山市顺德区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 绝缘 双极晶体管 ipm 模块 以及 空调器 | ||
1.一种绝缘栅双极晶体管,其特征在于,包括:
半导体衬底,所述半导体衬底沿其厚度方向依次形成有集电极区、漂移区及有源区;所述有源区包括沟槽栅极区、阱区以及发射极区,所述发射极区嵌入设置在所述阱区中,所述沟槽栅极区自所述发射极区延伸至所述漂移区,所述阱区连接所述发射极区和所述漂移区;
所述集电极区的掺杂浓度小于或等于8*1017/cm-3,所述发射极区的掺杂浓度大于或等于5*1019/cm-3。
2.根据权利要求1所述的绝缘栅双极晶体管,其特征在于,所述阱区的掺杂浓度小于或等于4*1016/cm-3。
3.根据权利要求1或2所述的绝缘栅双极晶体管,其特征在于,所述漂移区的掺杂浓度为1*1014/cm-3~6*1014/cm-3。
4.根据权利要求1所述的绝缘栅双极晶体管,其特征在于,所述集电极区的厚度为0.4um~1.0um。
5.根据权利要求1所述的绝缘栅双极晶体管,其特征在于,所述阱区的厚度为1.0um~2.5um。
6.根据权利要求1所述的绝缘栅双极晶体管,其特征在于,所述阱区的厚度与所述发射极区的厚度之差为1um~2um。
7.根据权利要求1所述的绝缘栅双极晶体管,其特征在于,所述发射极区的掺杂类型为N型掺杂,所述集电极区的掺杂类型为P型掺杂,所述阱区的掺杂类型为P型掺杂。
8.根据权利要求1所述的绝缘栅双极晶体管,其特征在于,所述集电极包括第一掺杂区域和第二掺杂区域;所述第一掺杂区域的掺杂浓度高于第二掺杂区域的掺杂浓度。
9.一种IPM模块,其特征在于,包括如权利要求1至8任意一项所述的绝缘栅双极晶体管。
10.一种空调器,其特征在于,所述空调器包括如权利要求1至8任意一项所述的绝缘栅双极晶体管,和/或包括如权利要求9所述的IPM模块。
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