[发明专利]一种二氧化钛薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：

步骤1、二氧化钛前驱体的制备，具体步骤如下：

步骤1.1、用导管将四氧化钛慢慢滴加到蒸馏水中进行水解得到A，边搅拌边向A中缓慢加入草酸，待草酸溶解后，加热60℃～70℃，并保温沉淀15h～17h，生成草酸氧钛；

步骤1.2、将草酸氧钛装入瓷蒸发皿中，在马弗炉中灼烧，升温至600℃～850℃，恒温2h～5h时，取出冷却后，得到初二氧化钛前驱体；

步骤1.3、向上述得到的初二氧化钛前驱体中加入一定质量分数的聚乙烯吡咯烷酮，密封搅拌至溶解完全，静置陈化，得到二氧化钛前驱体；

步骤2、涂抹与后处理，具体过程如下：

将基片在超声作用下清洗后，将步骤1.3制备好的二氧化钛前驱体涂膜于清洗后的基片表面，将涂膜样品进行烘干、热处理后，冷却至室温即可。

2.如权利要求1所述的一种二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤1.1中的蒸馏水与四氧化钛的质量比为1：1～2。

3.如权利要求1所述的一种二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤1.1中草酸与四氧化钛的质量比为0.1～0.2：1。

4.如权利要求1所述的一种二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤1.3中聚乙烯吡咯烷酮的分子量为55000。

5.如权利要求1所述的一种二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤1.3中的静置陈化的时间为5h～25h。

6.如权利要求1所述的一种二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤2中的基片依次用丙酮、乙醇、去离子水在超声作用下清洗各10min。

7.如权利要求1所述的一种二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤2中的烘干温度为80℃～100℃，烘干时间为15min～30min。

8.如权利要求7所述的一种二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤2中将烘干后的样品于500℃～600℃下管式炉或马弗炉中进行热处理2h～3h。

9.如权利要求1所述的一种二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤1.3中的聚乙烯吡咯烷酮的质量分数为0.5％～2％。