[发明专利]三维间隙测量系统和方法

权利要求书

1.一种电子测隙规(110)，其包括：

传感器叶片(112)，所述传感器叶片包括传输感应线圈(114)、接收感应线圈(116)和围绕所述传感器叶片(112)在二维中间隔的测量位点(118)，其中所述测量位点(118)中的每一个与所述传输感应线圈(114)中的至少一个和所述接收感应线圈(116)中的至少一个相关联；

传输系统(120)，其被配置为驱动直流电流(128)穿过所述传输感应线圈(114)，以从所述传输感应线圈(114)产生传输的探测信号(122)；以及

接收系统(124)，其被配置为由于所述传输的探测信号(122)而从所述接收感应线圈(116)接收响应信号(126)。

2.根据权利要求1所述的电子测隙规(110)，其中所述传输系统(120)包括电流源(182)，其被配置为产生被驱动穿过所述传输感应线圈(114)的所述直流电流(128)。

3.根据权利要求1或2所述的电子测隙规(110)，其中所述传输的探测信号(122)是稳态磁场。

4.根据权利要求1或2所述的电子测隙规(110)，其中所述接收系统(124)被配置为基于所述响应信号(126)产生分隔距离信号(132)，

其中所述分隔距离信号(132)与第一工件(136)的第一表面(140)和第二工件(138)的第二表面(142)之间的所述传感器叶片(112)的所述测量位点(118)处的分隔距离(134)有关，

其中当所述测量位点(118)中的至少一个位于由所述第一表面(140)和所述第二表面(142)限定的间隙(144)内时，所述接收系统(124)被配置为接收所述响应信号(126)。

5.根据权利要求1或2所述的电子测隙规(110)，其中所述传输感应线圈(114)中的每一个由所述传输系统(120)单独地电寻址。

6.根据权利要求1或2所述的电子测隙规(110)，其中所述传输系统(120)包括解复用器(180)，以在与所述传输的探测信号(122)中的另一个不同的时间产生所述传输的探测信号(122)中的一个。

7.根据权利要求1或2所述的电子测隙规(110)，其中，所述接收系统(124)包括复用器(190)，以在与所述响应信号(126)中的另一个不同的时间接收所述响应信号(126)中的一个。

8.根据权利要求1或2所述的电子测隙规(110)，其中在所述传感器叶片(112)中，所述接收感应线圈(116)与所述传输感应线圈(114)相互交叉。

9.根据权利要求1或2所述的电子测隙规(110)，其中所述接收感应线圈(116)中的至少一个和所述传输感应线圈(114)中的至少一个在重叠区域(148)中重叠，并且由所述重叠区域(148)中的一个或更多个电介质层(150)分开。

10.根据权利要求1或2所述的电子测隙规(110)，其中所述传输感应线圈(114)和所述接收感应线圈(116)由一个或更多个电介质层(150)分开，并且

其中所述传输感应线圈(114)和所述接收感应线圈(116)在所述一个或更多个电介质层(150)中的单个电介质层的相对侧面上形成。

11.根据权利要求1或2所述的电子测隙规(110)，其中所述传输感应线圈(114)包括石墨烯。

12.根据权利要求1或2所述的电子测隙规(110)，其中所述传感器叶片(112)包括覆盖所述传输感应线圈(114)和所述接收感应线圈(116)的外部保护层(152)。

13.根据权利要求1或2所述的电子测隙规(110)，其中所述传输感应线圈(114)中的每一个具有小于1平方厘米且大于100平方微米的侧面面积。