[发明专利]一种超精细纳米纹玻璃模具制备方法在审
| 申请号: | 201710825833.5 | 申请日: | 2017-09-14 | 
| 公开(公告)号: | CN107450282A | 公开(公告)日: | 2017-12-08 | 
| 发明(设计)人: | 金烈;李元;葛秀彬 | 申请(专利权)人: | 深圳市锦瑞新材料股份有限公司 | 
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 | 
| 代理公司: | 深圳市兰锋知识产权代理事务所(普通合伙)44419 | 代理人: | 曹明兰 | 
| 地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 精细 纳米 玻璃 模具 制备 方法 | ||
1.一种超精细纳米纹玻璃模具制备方法,其特征在于,包括有如下步骤:
步骤S1,准备透明基材,制备用于形成精细纹理的模版;
步骤S2,利用涂布设备在透明基材表面涂设光阻剂;
步骤S3,利用烘干设备对透明基材进行烘烤;
步骤S4,将模板叠放于透明基材的光阻剂胶层上,利用曝光设备进行曝光处理;
步骤S5,将曝光后的透明基材放置于显影机中进行显影和定影处理;
步骤S6,对定影后的透明基材进行清洗、干燥处理。
2.如权利要求1所述的超精细纳米纹玻璃模具制备方法,其特征在于,所述步骤S4中的曝光设备为紫外曝光箱。
3.如权利要求1所述的超精细纳米纹玻璃模具制备方法,其特征在于,所述步骤S2中的光阻剂为水溶性剂。
4.如权利要求1所述的超精细纳米纹玻璃模具制备方法,其特征在于,所述步骤S3中的烘烤温度为80℃,烘烤时间为10分钟。
5.如权利要求1所述的超精细纳米纹玻璃模具制备方法,其特征在于,所述步骤S6中,利用超声波清洗设备对透明基材进行清洗。
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