[发明专利]一种生产磷化铟的高压炉压力控制方法在审
| 申请号： | 201710819823.0 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN107619027A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 范家骅;乔印彬;邱才涌;卢宁 | 申请（专利权）人： | 南京金美镓业有限公司 |
| 主分类号： | C01B25/08 | 分类号： | C01B25/08;F27D19/00 |
| 代理公司： | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司32270 | 代理人： | 杜依民 |
| 地址： | 211165 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 生产 磷化 高压 压力 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种生产磷化铟的高压炉压力控制方法，管式电炉安装于高压炉中，真空密封的石英反应管安装于管式电炉的炉腔中，石英反应管内两端分别放置红磷和金属铟，其特征在于：
在红磷温度被加热至565℃过程中，高压炉压力调整为比相应温度下红磷饱和蒸汽压力减少2atm-4atm；
磷化铟合成结束，定向结晶阶段，高压炉压力保持在27.5atm±1atm范围内；
红磷温度由565℃逐步稳定的降温至548℃过程中，高压炉压力调整为与相应温度下红磷饱和蒸汽压力一致；
在磷化铟全部结晶凝固后，再将红磷温度逐步稳定的降温至400℃过程中，高压炉压力调整为比相应温度下红磷饱和蒸汽压力增加13atm-15atm。
2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于：
在红磷温度被加热至565℃过程中，高压炉压力调整为比相应温度下红磷饱和蒸汽压力减少3atm；
磷化铟合成结束，定向结晶阶段，高压炉压力保持在27.5atm；
红磷温度由565℃逐步稳定的降温至548℃过程中，高压炉压力调整为与相应温度下红磷饱和蒸汽压力一致；
在磷化铟全部结晶凝固后，再将红磷温度逐步稳定的降温至400℃过程中，高压炉压力调整为比相应温度下红磷饱和蒸汽压力增加13atm。
3.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于：所述高压炉内充入惰性气体。
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