[发明专利]一种中和缓蚀剂及其合成方法在审
| 申请号： | 201710815550.2 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109487273A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 芮子豪;芮立新;王虎让 | 申请（专利权）人： | 南京鑫豪高分子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/10 | 分类号： | C23F11/10 |
| 代理公司： | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人： | 陈琛 |
| 地址： | 211301 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热 多乙烯多胺 硫酸二甲酯 合成 二甲苯 粗环 咪唑啉化合物 二甲苯溶剂 化学稳定性 缓蚀效率 加压蒸馏 搅拌加热 溶剂混合 现场操作 抽真空 氮吸附 分散剂 缓蚀剂 无异味 乙醇 水蒸 | ||
【权利要求书】：
1.一种中和缓蚀剂，其特征在于，包含如下组分：粗环烷酸、多乙烯多胺、二甲苯、硫酸二甲酯、乙醇、分散剂、水溶性咪唑啉化合物、含氮吸附型缓蚀剂。
2.根据权利要求1所述的一种中和缓蚀剂，其特征在于，所述粗环烷酸的重量份数为15-25。
3.根据权利要求1所述的一种中和缓蚀剂，其特征在于，所述多乙烯多胺的重量份数为20-25。
4.根据权利要求1所述的一种中和缓蚀剂，其特征在于，所述硫酸二甲酯的重量份数为0.5-1。
5.根据权利要求1所述的一种中和缓蚀剂，其特征在于，所述水溶性咪唑啉化合物的重量份数为1-2。
6.一种中和缓蚀剂的合成方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：将粗环烷酸和二甲苯溶剂混合；
步骤2：搅拌步骤1所得溶液，并加热；
步骤3：加入多乙烯多胺，反应4-5h；
步骤4：加压蒸馏出二甲苯；
步骤5：加热至200-250℃，反应3-4h；
步骤6：抽真空将水蒸出，然后降温，得到中间品；
步骤7：将中间品和溶剂混合，搅拌加热至100-120℃；
步骤8：加入硫酸二甲酯，加热至125-135℃，反应3-5h，得到成品。
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