[发明专利]交叉传样装置及具有该交叉传样装置的超高真空测量系统

说明书

本发明提供了一种交叉传样装置，该交叉传样装置设置交叉连通的真空管道，合理布置占用的空间位置；传样车在各个管道中直线运送，结合转运部将放置在传样车上的样品在各个管道之间进行转运传递。如此，该交叉传样装置结构布局紧凑，节省空间，并且，还确保样品在交叉管道之间的顺利传递。

技术领域

本发明涉及超高真空技术领域，特别涉及一种交叉传样装置及具有该交叉传样装置的超高真空测量系统。

背景技术

超高真空测量系统用于在超高真空环境下测试样品的特征参数。其中，超高真空是指压力在10^-9mbar以下的真空环境。超高真空测量系统广泛应用于物理、材料和生物科学等研究领域。当测试样品由大气环境进入超高真空环境时，需要通过传样装置对样品进行传送，从而通过超高真空管道到达对应的测量设备处，完成测试。

超高真空测量系统的结构庞大，通常样品完成一项测试后，需要转向另一测试设备或者其他的仪器处进行下一步的测量，如此，超高真空测量系统中的真空管道连接有多个测试设备，占用巨大的空间位置。

并且，由于超高真空环境的特殊性，运输样品的小车只能直线行驶，无法进行交叉管道之间进行传样。因此，导致超高真空测量系统中的样品通常在直线管道之间的传递，如此，也必然导致超高真空测量系统在真空管道延伸方向上占用的空间较大。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种交叉传样装置，该交叉传样装置设置交叉连通的真空管道，合理布置占用的空间位置；传样车在各个管道中直线运送，结合转运部将放置在传样车上的样品在各个管道之间进行转运传递。如此，该交叉传样装置结构布局紧凑，节省空间，并且，还确保样品在交叉管道之间的顺利传递。基于此，本发明还提供一种具有该交叉传样装置的超高真空测量系统。

本发明提供了一种交叉传样装置，所述交叉传样装置设置在超高真空测量系统中，用于传递待测的样品，所述交叉传样装置包括至少一组交叉传样组，每组所述交叉传样组包括：

第一真空管道；

第二真空管道，所述第二真空管道平行于所述第一真空管道；

第三真空管道，所述第三真空管道连接在所述第一真空管道和所述第二真空管道的管道中段之间，形成交叉连通的传样通道；

第一转运部，所述第一转运部设置在所述第一真空管道内的上方，并位于所述第一真空管道与所述第三真空管道交界处；

第二转运部，所述第二转运部设置在所述第二真空管道内的上方；

第三转运部，所述第三转运部设置在所述第三真空管道内的上方，并位于所述第二真空管道与所述第三真空管道交界处；

第一传样车，所述第一传样车承载所述样品在所述第一真空管道内行驶，并将所述待测样品运送至所述第一转运部的下方；

第二传样车，所述第二传样车在所述第二真空管道内行驶；

第三传样车，所述第三传样车在所述第三真空管道内行驶，所述第一转运部将所述样品转运由所述第一传样车转运至所述第三传样车的靠近所述第一真空管道侧的第一端，并由所述第三传样车将样品运送至所述第三转运部的下方，所述第三转运部将所述样品由所述第三传样车的第一端转运至所述第三传样车靠近所述第二真空管道侧的第二端，所述第二转运部将所述样品由所述第三传样车转运至所述第二传样车。

可选地，所述第一真空管道设置有导向所述第一传样车行驶的第一轨道，所述第二真空管道设置有导向所述第二传样车行驶的第二轨道，所述第三真空管道设置有导向所述第三传样车行驶的第三轨道，且所述第三轨道的一端位于所述第一真空管道外、另一端位于所述第二真空管道外。

可选地，所述第三传样车的第一端可伸入所述第一真空管道内，第二端可伸入所述第二真空管道内。