[发明专利]一种在钨或钨合金表面制备硅化钨涂层的方法有效
申请号: | 201710792130.7 | 申请日: | 2017-09-05 |
公开(公告)号: | CN107675121B | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 牛亚然;翟翠红;李红;黄利平;郑学斌;孙晋良;丁传贤 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C23C4/134 | 分类号: | C23C4/134;C23C4/18;C23C4/10 |
代理公司: | 31261 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 曹芳玲;郑优丽<国际申请>=<国际公布> |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基体表面 硅化钨 钨合金 制备 等离子体喷涂 规模化生产 热处理 表面制备 可重复性 硅涂层 金属钨 硅粉 应用 | ||
本发明涉及一种在钨或钨合金表面制备硅化钨涂层的方法,以硅粉为原料,采用等离子体喷涂技术在金属钨或钨合金基体表面制备硅涂层,然后置于惰性气氛中在1000~1500℃下热处理1~10小时,从而在基体表面形成硅化钨涂层。本发明所述制备方法具有工艺简单、成本低、效率高、可重复性好、适合规模化生产等优点,具有广阔的应用前景。
技术领域
本发明涉及一种硅化物涂层的制备方法,特别涉及一种在钨或钨合金表面制备硅化钨涂层的方法,属于高温防护涂层技术领域。
背景技术
钨(W)是熔点最高的金属,具有良好的高温强度,是一种重要的高温结构材料。然而,钨与钨合金在高温有氧环境中容易氧化,生成不具有保护性的氧化物(WO3),失去其优异的高温性能。为了改善钨与钨合金的高温抗氧化性能,目前较为可行的方法是在其表面制备高温抗氧化涂层。
二硅化钨(WSi2)是一种重要的高温抗氧化涂层材料。其抗氧化性能得益于高温(大于1300℃)有氧环境中表面形成的致密SiO2保护层,阻止氧气的向内扩散,达到抗氧化的目的【1.K.Kurokawa,A.Yamauchi,Classification of oxidation behavior ofdisilicides,Solid State Phenomena 127(2007)227-232】。
目前制备WSi2涂层的方法主要包括化学气相沉积(CVD)法、包埋法等。Yoon等人采用CVD法在高温(1000℃~1200℃)环境中通过SiCl4和H2混合气使得Si沉积到W金属表面形成WSi2涂层【2.J.Yoon,K.Lee,S.Chung,I.Shon,J.Doh,G.Kim,Growth kinetics andoxidation behavior of WSi2 coating formed by chemical vapor deposition of Sion W substrate,Journal of Alloys and Compounds 420(2006)199-206】。其研究表明WSi2涂层在1300℃时氧化速率较低,表面形成致密SiO2保护层,能够长时间(20h)保护基体。该方法制备的涂层结构较致密,但CVD法对反应体系的要求高、沉积效率较低,制备周期长,同时难以制备复合涂层。Alam等采用包埋法在钨金属表面制备了WSi2涂层,将W基体埋于25%Si-5%F-70%Al2O3(wt.%)的混合粉末中,在1100℃高温热处理6h形成外层为WSi2和过渡层为W5Si3的硅化钨涂层【3.M.Alam,S.Saha,B.Sarma,D.Das,Formation of WSi2coating on tungsten and its short-term cyclic oxidation performance in air,Int.Journal of Refractory Metals and Hard Materials 29(2011)54–63】。然而包埋法存在一些问题,如受重力影响导致涂层厚度和结构不均匀,硅含量无法有效控制导致存在残余硅、表面难以清理,难以实现在部件局部区域制备涂层等。等离子体喷涂技术具有沉积效率高、涂层成分和厚度可控、可快捷修复失效涂层、易实现工业化生产等特点。但是单一的等离子体喷涂技术制备的涂层与基体间的结合方式以机械咬合为主,存在明显的界面,由于热膨胀系数相差较大(W:4.5×10-6·K-1,WSi2:8.5×10-6·K-1),使得涂层与基体间的结合性能有待进一步改善。
发明内容
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆