[发明专利]轨道系统的监控车

说明书

一种用于轨道系统的监控车，包含轮式推车、架空车身、至少一支撑结构与至少一第一感应器。轮式推车可操作以于轨道系统的至少一轨道上移动。支撑结构连接轮式推车与架空车身。第一感应器设置于轮式推车，并配置以侦测轨道系统的轨道的至少一第一参数。

技术领域

本发明实施例是关于一种用于轨道系统的监控车。

背景技术

半导体行业经历了指数式的增长，而集成电路(Integrated Circuits；ICs)被用于各种应用中，例如记忆体，中央处理器(Central Processing Unit；CPU)，液晶显示(Liquid Crystal Display；LCD)装置，发光二极管(Light Emitting Diode；LED)，激光二极管，或微芯片。在半导体集成电路的制造过程中，半导体晶圆在不同的处理设备下进行多个处理步骤。例如，为了完成IC芯片的制造，通常在不同的处理设备中进行沉积，清洁，离子注入，蚀刻和/或钝化步骤等各种步骤。因此，制造设备通常包括例如自动化材料处理系统(Automated Material Handling System；AMHS)的轨道系统，以于处理设备之间传送半导体晶圆。

发明内容

根据本发明的多个实施例，一种用于轨道系统的监控车包含轮式推车、架空车身、至少一支撑结构与至少一第一感应器。轮式推车可操作以于轨道系统的至少一轨道上移动。支撑结构连接轮式推车与架空车身。第一感应器设置于轮式推车，并配置以侦测轨道系统的轨道的至少一第一参数。

附图说明

图1绘示依照本发明多个实施例的轨道系统内的监控车的上视图；

图2绘示依照本发明多个实施例的轨道系统内的监控车的剖面图；

图3绘示依照本发明多个实施例的轨道系统内的监控车的另一剖面图；

图4绘示依照本发明多个实施例用于轨道系统的监控车的方块图；

图5绘示依照本发明多个实施例监控轨道系统的方法的流程图。

具体实施方式

以下揭示内容提供许多不同实施例或实例，以便实施所提供标的的不同特征。下文描述组件及排列的特定实例以简化本揭露。当然，这些实例仅为示例且并不意欲为限制性。举例来说，以下描述中在第二特征上方或第二特征上形成第一特征可包括以直接接触形成第一特征及第二特征的实施例，且亦可包括可在第一特征与第二特征之间形成额外特征以使得第一特征及第二特征可不处于直接接触的实施例。另外，本揭露可在各实例中重复元件符号及/或字母。此重复是出于简明性及清晰的目的，且本身并不指示所论述的各实施例及/或配置之间的关系。

进一步地，为了便于描述，本文可使用空间相对性术语(诸如“之下”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”及类似者)来描述诸图中所绘示一个元件或特征与另一元件(或多个元件)或特征(或多个特征)的关系。除了诸图所描绘的定向外，空间相对性术语意欲包含使用或操作中装置的不同定向。设备可经其他方式定向(旋转90度或处于其他定向)，因此可同样解读本文所使用的空间相对性描述词。

在制造设备中，轨道系统的异常，例如异常的振动、温度、粒子、轨道高度差或轨道系统的光信号，可能会增加在晶圆上形成意外损伤、粒子或特征的风险，及/或减低制造过程的生产效率。因此，侦测或监控轨道系统的一个或多个轨道的一个或多个参数，可避免运输半导体晶圆时的运输异常。