[发明专利]一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置

说明书

本发明公开了一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置，该夹心板包含：高导磁层，包覆在高导磁层上的高导电层，设置在高导磁层和高导电层之间的高强度耐高温胶层。其中，高导磁层包含：坡莫合金；高导电层包含：铝或铝合金。本发明的夹心板采用压敏胶粘合，降低了高导电导磁复合材料的成本，得到的铝坡莫合金夹心板具有较好的磁导率和导电率。

技术领域

本发明属于半导体领域，涉及一种夹心板，具体涉及一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置。

背景技术

在使用电感耦合产生等离子体的机台上，如TSV（Through Silicon Vias, 硅穿孔）和ICP（Inductively Coupled Plasma, 电感耦合等离子体），需要使用磁屏蔽材料来屏蔽外部磁场对等离子体的干扰，需要高磁导率材料，而等离子刻蚀机的RF（RadioFrequency, 射频）环境又要对电场屏蔽，需要高电导率材料。

然而，目前磁导率高的材料电导率都不高，电导率高的材料磁导率又很低，不能满足同时对磁场和电场屏蔽需求。通过使用坡莫合金外表面镀高电导率镀层的方式可以形成高导电导磁复合材料，但是这种材料基材为坡莫合金，材料厚、价格贵，并且在坡莫合金表面镀高电导率材料的方法成本高。

发明内容

本发明的目的是提供一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置，该夹心板能够解决了现有技术制备的高导电导磁复合材料成本高的问题，采用压敏胶粘合，降低了高导电导磁复合材料的成本，得到的铝坡莫合金夹心板具有较好的磁导率和导电率。

为了达到上述目的，本发明提供了一种铝坡莫合金夹心板，该夹心板包含：高导磁层，包覆在高导磁层上的高导电层，设置在高导磁层和高导电层之间的高强度耐高温胶层。

其中，所述的高导磁层包含：坡莫合金。

其中，所述的高导电层包含：铝或铝合金。

所述的高强度耐高温胶层包含：高强度耐高温压敏胶。

所述的高强度耐高温压敏胶包含：聚丙烯酸酯。

所述的坡莫合金包含以下组份：质量分数大于或等于50%的镍，余量为Fe 和不可避免的杂质元素。

所述的高导磁层的厚度为0. 1 mm～1mm。

所述的高导电层的厚度为0.5mm～5mm。

所述的高强度耐高温胶层的厚度大于0，且小于0.3mm。

本发明还提供了一种根据所述的铝坡莫合金夹心板的用途，该用途包含：通过切割、折弯和冲裁的方式加工成为含坡莫合金的钣金件。

本发明还提供了一种等离子体处理装置，该装置包含：反应腔，其由外壁围成且内部设置基座用于对待处理基片进行支撑；气体供应装置，其与所述的反应腔连接，用于输送反应气体至所述的反应腔内；以及射频功率源，其与所述的反应腔连接，用于施加射频功率至所述的反应腔，将反应腔内的反应气体电离产生等离子体；所述的反应腔的外壁材料由所述的铝坡莫合金夹心板构成。

该装置为电容耦合等离子体处理装置或电感耦合等离子体处理装置。

本发明的铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置，解决了现有技术制备的高导电导磁复合材料成本高的问题，具有以下优点：

（1）本发明的夹心板通过高强度耐高温胶层将高导磁层和高导电层粘合在一起，降低了夹心板的制备成本，而且得到的夹心板具有较好的磁导率和导电率；

（2）本发明的夹心板相较于现有技术在坡莫合金外表面镀高电导率镀层的方式获得的高导电导磁复合材料较薄，从而加工得到的钣金件较轻，满足半导体制造技术领域对材料越来越高的要求；