[发明专利]探针组件及测试设备

权利要求书

1.一种探针组件，用于电学测试设备，其特征在于，包括探针本体，所述探针本体包括用于与待测试器件连接的测试端，以及与所述测试端相对的连接端；

固定基座，所述连接端通过一弹性连接结构固定连接于所述固定基座上。

2.根据权利要求1所述的探针组件，其特征在于，所述弹性连接结构为一弹性连接板。

3.根据权利要求2所述的探针组件，其特征在于，还包括用于支撑所述弹性连接板的刚性支撑结构，所述弹性连接板与所述刚性支撑结构接触连接，所述刚性支撑结构的一端固定连接于所述固定基座上。

4.根据权利要求3所述的探针组件，其特征在于，所述刚性支撑结构为板状结构。

5.根据权利要求3所述的探针组件，其特征在于，所述弹性连接板靠近所述探针本体的一端包括外露于所述刚性支撑结构的第一部分，所述第一部分悬空设置。

6.根据权利要求5所述的探针组件，其特征在于，还包括固定部，所述固定部包覆在所述弹性连接板与所述探针本体的连接处的外部。

7.根据权利要求3所述的探针组件，其特征在于，还包括延长杆，所述延长杆沿其长度方向包括相对的第一端和第二端，所述弹性连接板和所述刚性支撑结构连接于所述延长杆的第一端，所述延长杆的所述第二端固定连接于所述固定基座上。

8.根据权利要求7所述的探针组件，其特征在于，还包括用于传输所述探针本体的所述测试端的测试信号的信号线，所述信号线的一端与所述探针本体的连接端相连接，所述信号线的另一端与电学测试设备的信号接收结构连接。

9.根据权利要求8所述的探针组件，其特征在于，所述信号线的另一端穿过所述延长杆、所述固定基座与所述电学测试设备的信号接收结构连接。

10.根据权利要求3所述的探针组件，其特征在于，还包括用于检测所述探针本体的所述测试端与待测试器件的接触状态的接触状态检测单元，所述接触状态检测单元包括：

指示单元，设置于所述固定基座上；

控制单元，用于控制所述指示单元在第一指示状态和第二指示状态之间变化，其中，所述探针本体的所述测试端与待测试器件未接触或接触不良，所述指示单元处于所述第一指示状态；所述指示单元指示所述探针本体的所述测试端与待测试器件接触状态良好，所述指示单元处于所述第二指示状态。

11.根据权利要求10所述的探针组件，其特征在于，所述控制单元包括：常闭开关，包括设置于所述弹性连接板上的动触点，和设置于所述刚性支撑结构上的静触点；

所述弹性连接板与所述刚性支撑结构贴合，所述动触点与所述静触点连接，所述指示单元处于所述第一指示状态；

所述弹性连接板形变与所述刚性支撑结构分离，所述动触点与所述静触点分离，所述指示单元处于所述第二指示状态。

12.根据权利要求11所述的探针组件，其特征在于，所述弹性连接板为导电材料制作。

13.根据权利要求10所述的探针组件，其特征在于，所述指示单元包括指示灯，所述指示单元处于所述第一指示状态时，所述指示灯灭，所述指示单元处于所述第二指示状态时，所述指示灯亮。

14.一种测试设备，其特征在于，包括权利要求1-13任一项所述的探针组件。