[发明专利]致动传感模块

权利要求书

1.一种致动传感模块，其特征在于，包含：

一第一基板，设有至少一控制电路；

一第二基板，具有一气体入口及一气体出口，该第二基板与该第一基板叠合后形成一气体通道，该气体入口、该气体通道及该气体出口相互连通以形成一气流回路；

至少一致动装置，设置于该第二基板的该气体入口，并电性连接该控制电路，该致动装置包含：

一入口板，具有至少一进气孔及一汇流腔室；

一共振膜，具有一中空孔洞；

一致动膜，具有一悬浮部、一外框部及至少一连接部，该连接部是连接于该悬浮部以及该外框部之间，且每一连接部的一端连接该外框部，另一端则连接该悬浮部，且每一连接部、悬浮部及外框部之间定义出间隙以供气体流通；以及

至少一传感器，对应该气体出口设置，并电性连接该控制电路；

其中，该入口板、该共振膜及该致动膜依序对应堆叠设置，且在该共振膜与该致动膜之间形成一压缩腔室，透过驱动该致动膜时，将外界的一气体由该入口板的该至少一进气孔进入该汇流腔室，流经该共振膜的该中空孔洞进入该压缩腔室内，并由该间隙排出，借此以将所述气体经由该气体入口导入该气体通道之中，并使该气体在流经该传感器之后由该气体出口排出，以供该传感器对循环的该气体进行监测。

2.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第一基板设有二控制电路，该二控制电路透过半导体制程设置于该第一基板，且分别为一第一控制电路及一第二控制电路，该致动装置电性连接该第一控制电路以获取驱动电源，而该传感器则电性连接该第二控制电路，以供该第二控制电路计算及处理该传感器所产生的感测数据。

3.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该传感器透过半导体制程设置于该第一基板。

4.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第一基板透过半导体制程成型一凹槽，该凹槽在该第一基板与该第二基板叠合之后，在该第一基板与该第二基板之间形成该气体通道。

5.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该传感器包含一氧气传感器、一一氧化碳传感器、一二氧化碳传感器、一温度传感器、一臭氧传感器及一挥发性有机物传感器的至少其中之一或其组合。

6.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该致动装置为一微机电系统气体泵，该微机电系统气体泵包含：

一压电膜，贴附于该悬浮部的一表面；

其中，该共振膜为面型微加工技术制成的悬浮结构，该致动膜为面型微加工技术制成的中空悬浮结构，当该压电膜驱动该致动膜时，该气体由该入口板的该至少一进气孔进入该汇流腔室。

7.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该致动膜为一金属材料薄膜与一多晶硅薄膜中的一者。

8.如权利要求6所述的致动传感模块，其特征在于，该压电膜是为一以溶胶凝胶法制成的金属氧化物薄膜。

9.如权利要求6所述的致动传感模块，其特征在于，该微机电系统气体泵为一体成型的结构。

10.如权利要求6所述的致动传感模块，其特征在于，该致动传感模块更包含至少一第一防护膜及一第二防护膜，该第一防护膜封闭设置于该进气孔与该气体入口中的一者，该第二防护膜封闭设置于该气体出口，且该第一防护膜及该第二防护膜均为防水、防尘且可供气体穿透的膜状结构。

11.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该致动装置为一共振式压电气体泵，该共振式压电气体泵包含：

一压电膜，贴附于该悬浮部的一表面；

其中，当该压电膜驱动该致动膜时，气体由该入口板的该至少一进气孔进入该汇流腔室。