[发明专利]一种新型激光振镜镜片、激光振镜以及镀膜方法在审
| 申请号： | 201710754414.7 | 申请日： | 2017-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN107329196A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 郑璇;李婷 | 申请（专利权）人： | 镇江金海创科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 史明罡 |
| 地址： | 212000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 激光 镜片 以及 镀膜 方法 | ||
1.一种新型激光振镜镜片，其特征在于，包括：自下而上依次设置的基底膜层、中间膜层和高反膜层；所述中间膜层包括：自下而上依次设置的第一连接膜层、Al膜和第二连接膜层。
2.根据权利要求1所述的新型激光振镜镜片，其特征在于，所述第一连接膜层包括但不限于：Al2O3膜。
3.根据权利要求1所述的新型激光振镜镜片，其特征在于，所述第二连接膜层包括但不限于：Al2O3膜。
4.根据权利要求1所述的新型激光振镜镜片，其特征在于，所述基底膜层包括但不限于：Si基片。
5.根据权利要求1所述的新型激光振镜镜片，其特征在于，所述高反膜层包括：自下而上交替设置的L型膜、H型膜，其中，所述L型膜采用低折射率材料制成，所述H型膜采用高折射率材料制成。
6.根据权利要求5所述的新型激光振镜镜片，其特征在于，所述L型膜采用的低折射率材料包括但不限于：SiO2。
7.根据权利要求5所述的新型激光振镜镜片，其特征在于，所述H型膜采用的高折射率材料包括但不限于：HfO2。
8.一种激光振镜，其特征在于，包括如权利要求1-7中任一项所述的新型激光振镜镜片。
9.一种用于制作如权利要求1-7中任一项所述的新型激光振镜镜片的镀膜方法，其特征在于，包括：
采用真空蒸发镀膜技术，在基底膜层采用电子束蒸发的方式沉积第一连接膜层，在第一连接膜层上采用电阻加热蒸发的方式沉积Al膜，在Al膜上采用电子束蒸发的方式沉积第二连接膜层，在第二连接膜层上采用电子束蒸发的方式沉积高反膜层。
10.根据权利要求9所述的镀膜方法，其特征在于，包括：采用真空蒸发镀膜技术，并在镀膜过程中全程使用离子源进行沉积辅助。
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