[发明专利]一种曲面疏水微结构的制备方法有效
申请号: | 201710751431.5 | 申请日: | 2017-08-28 |
公开(公告)号: | CN107585736B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 郑皓天;赵娟;王俊兵;朱凌志;马惠宁;周舒瑶;徐翊桄;李征宇;王博;张静;王燕玲;杨洋;贺伟;孙学书;张建和;李新杰;李炜;徐良;吴婧 | 申请(专利权)人: | 宁夏软件工程院有限公司 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;G03F7/00;G03F7/42 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 750000 宁夏回族自治区银川市*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曲面 疏水 微结构 制备 方法 | ||
1.一种曲面疏水微结构的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、在石英玻璃上粘附可剥离水标纸;
S2、在水标纸上涂覆光刻胶并固化;
S3、使用平面曝光机完成微结构图形的曝光;
S4、对光刻胶显影;
S5、对显影完成的光刻胶薄膜层上的沟道进行油墨填充,完成微结构图案印制;
S6、将制备好的样品置入有机溶剂中,完成光刻胶的溶解;
S7、在油墨层上喷涂活化剂,完成水标纸和石英玻璃的剥离;
S8、将曲面材料置入油墨表面,通过旋转完成油墨的附着;
S9、固化油墨,曲面上微结构图案完成制备。
2.根据权利要求1所述的一种曲面疏水微结构的制备方法,其特征在于在步骤S3中:所述微结构图形是单个图形重复排列组成的阵列,该单个图形是正方形、圆形、正六边形其中之一。
3.根据权利要求2所述的一种曲面疏水微结构的制备方法,其特征在于:该单个图形的边长或直径为10-20微米,间距为5-15微米。
4.根据权利要求1所述的一种曲面疏水微结构的制备方法,其特征在于在步骤S5中:所述油墨填充高度小于沟道高度的1/2。
5.根据权利要求1所述的一种曲面疏水微结构的制备方法,其特征在于在步骤S8中:所述曲面材料是树脂、金属、陶瓷、玻璃中的一种与有机溶剂不产生反应的材料。
6.根据权利要求1所述的一种曲面疏水微结构的制备方法,其特征在于在步骤S8中:所述曲面材料其曲率大于0°。
7.根据权利要求1所述的一种曲面疏水微结构的制备方法,其特征在于在步骤S9中:所述完成制备的微结构图案可以作为掩膜,通过刻蚀曲面材料本身,制备曲面材料一体化微结构。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏软件工程院有限公司,未经宁夏软件工程院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710751431.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种人工耳蜗电极及其制备方法
- 下一篇:一种合成氨原料气脱硫方法