[发明专利]一种柔性可调谐可见‑近红外波段分支光波导器件及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性可调谐可见-近红外波段分支光波导器件，其特征在于，包括柔性透明衬底、导电电极、正常光波导层、电致变色光波导层，在柔性透明衬底的上表面平铺有正常光波导层、电致变色光波导层，正常光波导层、电致变色光波导层在一层，正常光波导层采用Y型二分支结构，即分支前的A条状、分支后的B条状和C条状，正常光波导层Y型分支前的A条状的一侧边和电致变色光波导层一侧边紧密相连；电致变色光波导层还引出有导电电极，导电电极与电致变色光波导层有部分重叠，导电电极用于给电致变色光波导层加载电压的作用，导电电极平铺固定在柔性透明衬底上；导电电极与正常光波导层无直接接触。

2.按照权利要求1所述的一种柔性可调谐可见-近红外波段分支光波导器件，其特征在于，柔性透明衬底为PET或PDMS。

3.按照权利要求1所述的一种柔性可调谐可见-近红外波段分支光波导器件，其特征在于，导电电极采用层状结构，为金属纳米颗粒层或石墨烯薄膜层。

4.按照权利要求1所述的一种柔性可调谐可见-近红外波段分支光波导器件，其特征在于，正常光波导层为非晶-纳米晶复合结构的透明半导体薄膜材，电致变色光波导层材料优选非晶-纳米晶复合结构薄膜材料。

5.按照权利要求4所述的一种柔性可调谐可见-近红外波段分支光波导器件，其特征在于，正常光波导层为石墨烯掺杂(In₂O₃)_x(ZnO)_y(Ga₂O₃)_z薄膜材料，In、Zn、Ga的摩尔比为0.6-0.9:0.2-0.05:0.2-0.05；电致变色光波导层为(ITO)_x(Nb₂O₅)_y(Ga₂O₃)_z薄膜材料，铟、锡、铌、镓的摩尔比为0.54-0.81:0.06-0.09:0.05-0.35:0.05-0.35。

6.按照权利要求1所述的一种柔性可调谐可见-近红外波段分支光波导器件，其特征在于，导电电极与电致变色光波导层有部分重叠部分，导电电极位于柔性透明衬底和电致变色光波导层之间。

7.按照权利要求1所述的一种柔性可调谐可见-近红外波段分支光波导器件，其特征在于，电致变色光波导层为长条结构，电致变色光波导层长条结构长边与正常光波导层Y型分支前的A条状的长侧边长度相同，并紧密连接，A条状的长侧边与Y型二分支结构的对称轴平行。