[发明专利]实现超大口径平面镜面形检测的装置

说明书

一种实现超大口径平面镜面形检测的装置涉及光学元件面形检测技术领域,包括：转动机构；移动机构，所述移动机构设置于转动机构上，移动机构带动被检平面镜随着转动机构转动，所述移动机构带动其上的被检平面镜在移动机构表面水平或竖直方向移动；球面反射机构，所述球面反射机构的中心与被检平面镜的中心位于同一平面，球面反射机构距转动机构一定距离、且沿着转动机构圆心转动；激光干涉仪，所述激光干涉仪设置于转动机构的一侧且间隔一定距离，激光干涉仪的出光端中心位置与被测平面镜中心位于同一平面。本发明的有益效果为：满足了检测通用性强，检测精度高，低成本的大口径平面镜全口径高精度面形检测需求。

技术领域

本发明涉及光学元件面形检测技术领域，具体涉及一种实现超大口径平面镜面形检测的装置。

背景技术

大口径光学系统在实际工作前，需要进行自准检验，确认各项参数指标满足设计指标要求。尤其针对大型空间光学成像系统，在地面测试、试验阶段，自准检验更是必不可少的测试步骤，如哈勃望远镜，由于未在地面做自准检验，导致发射后不能正常工作，达不到预期效果，花费了巨额经费进行补救，因此，进行自准检验非常必要。大口径平面镜是大型光学系统自准检验常用的标准器具，平面镜自身的面形精度直接关系到光学系统参数检测结果，对平面镜的面形精度要求较高，因此对大口径平面镜面形检测精度的要求也比较高。

目前口径1m以内的平面镜的全口径面形检测通常是利用大口径的平面干涉仪，直接对其进行面形检测，但随着光学系统口径的不断做大，平面镜的整体尺寸也在不断增大，这种方法受被检镜口径尺寸的限制，若要制造更大口径的平面干涉仪，其制作成本很高、并且研制难度较高，现阶段，口径超过1m的平面镜无法使用平面干涉仪直接进行面形检测。以往基于瑞奇-康芒原理等研制的平面镜面形检测装置，面对口径超过1m的平面镜都有其局限性，装置的通用性不足。因此，针对超大口径(口径超过1m)平面镜研制面形检测的装置，实现平面镜的全口径高精度面形检测，并且该装置具有高精度、通用性强等特点。

如中国专利公开报道了“一种康芒法大口径平面镜检验集成装置”公开号为CN101639350A。该装置是基于瑞奇-康芒检测原理，该装置包括：本体上具有固连球面镜支架，载物台上安放有平面镜转台-支架系统，同时可以360°自由回转的高精度转台，这种方法的局限性是面对大口径的平面镜，需要更大口径的球面标准镜，受研制成本等因素的限制，测试通用性不足。

发明内容

为解决上述现有技术存在的解决现有通用性不足，受成本限制，无法检测更大口型的平面镜的问题，本发明提供一种实现超大口径平面镜面形检测的装置。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明的一种实现超大口径平面镜面形检测的装置，包括：

转动机构；

移动机构，所述移动机构设置于转动机构上，移动机构带动被检平面镜随着转动机构转动，所述移动机构带动其上的被检平面镜在移动机构表面水平或竖直方向移动；

球面反射机构，所述球面反射机构的中心与被检平面镜的中心位于同一平面，球面反射机构距转动机构一定距离、且沿着转动机构圆心转动；

激光干涉仪，所述激光干涉仪设置于转动机构的一侧且间隔一定距离，激光干涉仪的出光端中心位置与被检平面镜中心位于同一平面。

进一步的，所述转动机构为转台，转台带动被检平面镜沿其轴线360°转动，转台到激光干涉仪的垂直距离为激光干涉仪2与转动机构间隔的一定距离。

进一步的，所述移动机构包括夹紧机构、水平导轨和竖向导轨，所述夹紧机构沿其中心轴360°转动，夹紧机构通过中心轴带动沿水平导轨沿水平方向移动；水平导轨沿竖向导轨在竖直方向移动。