[发明专利]一种微电路测试中动态修改测试程序极限值的方法

说明书

本发明提出一种微电路测试中动态修改测试程序极限值的方法，包括下列步骤：对微电路进行老炼前电测试，记录产品测试数据；对该批次微电路按照老炼条件进行老炼试验；提取老炼前电测试的产品测试数据，参照电参数允许变化范围动态修改测试程序的极限值；对该颗成品微电路进行老炼后电测试，根据修改后的测试项条件判断结果并生成参数偏移量计算结果进行提交。本发明提出的微电路测试中动态修改测试程序极限值的方法，通过动态修改测试程序极限值的实现，解决在量产过程中保证老炼后时效性的前提下，进行老炼参数偏移量计算、失效分析，并实现自动量产，提高产品质量和量产效率。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路测试领域，且特别涉及一种微电路测试中动态修改测试程序极限值的方法。

背景技术

在测试工厂里，通常需要按照相应标准，对一个量产中的成品微电路进行可靠性试验，并通过电特性测试、参照电参数允许变化范围来验证成品微电路的相关一致性和可靠性。测试包括老炼试验和成品电测试，其中老炼试验是为了筛选或剔除那些勉强合格的器件，用最大额定工作条件或在最大额定工作条件之上对微电路施加应力，或施加能以相等的或更高的灵敏度揭示出随时间和应力变化的失效模式的等效筛选条件。成品电测试是对封装后的成品微电路进行电特性测试，按照对应电特性规范，区分合格和不合格的微电路。

目前用的方法是将成品微电路在进行相关电参数测试后，进行对应条件的老炼试验后，再次测试一遍，需要测试人员对两次测试数据的对比计算，来完成相应的老炼前后参数偏移量计算。分析测试数据并进行对比是一项比较专业的工作，产线操作人员并没有能力完成，因此需要产品工程师来比对，对于晚上或周末并不能第一时间完成数据的对比工作，因为产品老炼后的时效性，一般在量产完成后，只有极少的时间可以进行对应参数偏移量计算和分析，一旦出现异常，很有可能会因为超出时效，造成最终结果的无效，从而延误产量和质量。

因此现有技术存在以下问题：一、现有技术中测试机台生成的数据需要工程师来进行对比，目前测试机台生成的测试数据都为STDF格式，为二进制的文件，需要专用的软件转成文本格式的文件后进行数据对比，此工作需要一定的专业能力，产线操作人员无法实行，需由工程师介入来完成，这样就会造成时间上的延误，不能立即得到参数偏移量计算结果。

二、现有技术中所有原数据需要工程师去拷贝，容易出错，参数偏移量计算的数据为两个文件，且计算偏移量时，需要根据测试的成品微电路刻号去比对，一旦找错数据源计算结果可能会数据差异较大，需要后期再继续进行比对核查，难以完成参数偏移量计算，耽误产品老炼的时效性、质量及效率。

在老炼后的电测试，因为本身程序判断的极限值一致，所以无法直观地显示出是否符合老炼前后的电参数允许变化范围，只能在测试完成后再进行计算。但进行测试需要比较长的时间，再在这之后进行参数偏移量计算，可能造成超出老炼后时效，测试异常但无法在有效时间内分析数据的影响，耽误量产质量、效率。

发明内容

为了解决参数偏移量计算对比需要专人完成，需要测试完成后再进行计算，并且时间长和容易出错的问题，本发明提出一种微电路测试中动态修改测试程序极限值的方法，通过动态修改测试程序极限值的实现，解决在量产过程中保证老炼后时效性的前提下，进行老炼参数偏移量计算、失效分析，并实现自动量产，提高产品质量和量产效率。

为了达到上述目的，本发明提出一种微电路测试中动态修改测试程序极限值的方法，包括下列步骤：

对微电路进行老炼前电测试，记录产品测试数据；

对该批次微电路按照老炼条件进行老炼试验；

提取老炼前电测试的产品测试数据，参照电参数允许变化范围动态修改测试程序的极限值；

对该颗成品微电路进行老炼后电测试，根据修改后的测试项条件判断结果并生成参数偏移量计算结果进行提交。